Abstract:
L'invention concerne un procédé de dépôt en phase liquide de couches métalliques dans des trous (11) d'un module électronique (10) disposé dans une enceinte hermétique (1), à partir d'un liquide (4) chimique à composés métalliques destinés à former une couche métallique. Les trous ont une profondeur P et un diamètre D tels que D>80 µm et P/D > 10, et le procédé comporte au moins un cycle (Cyc) comportant les sous-étapes suivantes : - M1) Mise sous une pression prédéterminée P0 de l'enceinte et remplissage de l'enceinte par le liquide, - M2) Dégazage des trous par mise sous une pression réduite P1 de l'enceinte, avec P1
Abstract:
L'invention concerne un procédé de fabrication collective d'une plaque reconstituée qui comporte des puces présentant des plots de connexion sur une face de la puce dite face avant, qui comprend une étape de : A) positionnement des puces sur un support adhésif initial, face avant sur le support, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes : B) dépôt en phase gazeuse à la pression atmosphérique et à la température ambiante, d'une couche électriquement isolante sur le support initial et les puces, cette couche ayant un rôle mécanique de maintien des puces, C) transfert des puces recouvertes de la couche minérale sur un support adhésif provisoire, face arrière des puces vers ce support adhésif provisoire, D) retrait du support adhésif initial, E) report des puces sur un support de type « chuck », faces avant des puces vers ce support, F) retrait du support adhésif provisoire, G) dépôt d'une résine sur le support de type « chuck » pour encapsuler les puces, puis polymérisation de la résine, H) retrait du support de type « chuck », I) réalisation d'une couche RDL côté face active
Abstract:
L'invention concerne la fabrication collective de n modules 3D. Elle comprend une étape de fabrication d'un lot de n tranches i sur une même plaque, cette étape étant répétée K fois, puis une étape d'empilement des K plaques, de formation de trous métallisés dans l'épaisseur de l'empilement et destinés à la connexion des tranches entre elles, puis de découpe de l'empilement pour obtenir les n modules 3D. La plaque 10 qui comprend du silicium est recouverte sur une face 11 d'une couche électriquement isolante formant le substrat isolant. Cette face présente des rainures 20 qui délimitent n motifs géométriques, munis d'un composant électronique 1 connecté à des plots de connexion électrique 2' disposés sur ladite face. Après l'empilement, des trous sont percés perpendiculairement aux faces des plaques à l'aplomb des rainures ; la dimension des trous est inférieure à celle des rainures, de manière à ce que le silicium de chaque tranche 10 soit isolé de la paroi du trou par de la résine.
Abstract:
L'invention a pour objet un module électronique 3D comportant un empilement (100) d'au moins une première tranche (10) et une deuxième tranche (30), la première tranche (10) présentant sur une face (101) au moins un ensemble (4) de bossages (41) électriquement conducteurs, et la deuxième tranche (30) comprenant au moins une zone (61 ) de matériau électriquement isolant, traversant la tranche dans l'épaisseur. La deuxième tranche (30) comprend au moins un élément (3) électriquement conducteur traversant ladite tranche dans une zone (61) de matériau électriquement isolant, apte à recevoir un ensemble (4) de bossages (41) de la première tranche (10).
Abstract:
L'invention concerne un module électronique (100) comprenant un empilement de n boîtiers (10, 10a, 10b) d'épaisseur E prédéterminée, pourvus sur une surface inférieure de billes de connexion (12) d'épaisseur e b prédéterminée reliées à un circuit imprimé (20, 20a, 20b) d'interconnexion du boîtier. Le circuit imprimé est disposé sur la surface inférieure du boîtier au niveau des billes, présente des percements métallisés (23) dans lesquels sont situées les billes (12) et auxquels elles sont connectées, et a une épaisseur e ci inférieure à e b , de manière à obtenir un module d'épaisseur totale ne dépassant pas n (E+ 10% e b ).
Abstract:
L'invention concerne un procédé de fabrication d'une plaque (1) reconstituée qui comporte des puces (10) présentant des plots de connexion (11) sur une face de la puce dite face avant (12), ce procédé comprenant les étapes suivantes de : positionnement des puces (10) sur un support adhésif (20), face avant sur le support, dépôt d'une résine (50) sur le support (20) pour encapsuler les puces, polymérisation de la résine (50). Avant l'étape de dépôt de la résine, il comprend une étape de collage sur les puces d'une plaque de maintien (40) du positionnement des puces, cette plaque de maintien (40) comportant des parties disposées sur une face (12, 13) des puces.
Abstract:
L'invention concerne un procédé de fabrication collective de modules électroniques CMS à partir d'une galette (2') à sorties métallisées comportant des composants électroniques (22, 23, 24) moulés dans de la résine (28) et sur une face, les sorties externes (26) des composants électroniques sur lesquelles est déposé un métal ou un alliage pas oxydable (21), et d'un circuit imprimé (1) muni de plots (11) en métal ou en alliage pas oxydable. Il comprend les étapes suivantes de : découpe de la galette (2') selon des motifs prédéterminés permettant d'obtenir des composants moulés reconfigurés (30) qui comportent au moins un composant électronique, assemblage des composants reconfigurés (30) sur le circuit imprimé (1), les sorties externes métallisées des composants reconfigurés étant disposés vis-à-vis des plots métallisés (11) du circuit imprimé et, connexion sans apport de brasure de ces sorties externes, aux plots métallisés du circuit imprimé au moyen d'un matériau (10) à base d'encre ou de colle électriquement conductrice.
Abstract:
L'invention concerne Ia fabrication collective de n modules 3D. Elle comprend une étape de fabrication d'un lot de n tranches i sur une même plaque, d'épaisseur es comprenant du silicium, recouverte sur une face de plots de test (20) puis d'une couche isolante (4) d'épaisseur e, formant le substrat isolant et munie d'au moins un composant électronique (11 ) connecté aux plots de test (20) à travers ladite couche isolante, les composants étant séparés les uns des autres par des premières rainures (30) d'une largeur L1, les plots de connexion des composants (2) étant connectés à des pistes (3) qui affleurent au niveau des rainures (30), B1) une étape de dépôt d'un support adhésif (40) sur la face côté composants, C1 ) une étape de retrait de la plaque de silicium (10) de manière à faire apparaître les plots de test (20), D1 ) une étape de test électrique des composants de la plaque par les plots de test (20), et de marquage des composants valides (11 '), E1 ) une étape de report sur un film adhésif (41) des tranches (50) comportant chacune un composant valide (11 '), les tranches étant séparées par des deuxièmes rainures (31) au niveau desquelles affleurent les pistes de connexion (3) des composants valides (11 '). Cette étape répétée K fois, est suivie d'une étape d'empilement des K plaques, de formation de trous métallisés dans l'épaisseur de l'empilement et destinés à la connexion des tranches entre elles, puis de découpe de l'empilement pour obtenir les n modules 3D.
Abstract:
La présente invention concerne un procédé d'interconnexion à faible épaisseur de composants actif et passif à deux ou trois dimensions, et les composants hétérogènes à faible épaisseur en résultant. Selon l'invention, le procédé comprend : le positionnement et la fixation (11) sur un support plan (23) d'au moins un composant actif et un composant passif, les plots étant en contact avec le support, le dépôt (12) d'une couche de polymère (24) sur l'ensemble du support et desdits composants, le retrait (14) du support, la redistribution des plots (15) entre les composants et/ou vers la périphérie au moyen de conducteurs métalliques (26) agencés selon un schéma prédéterminé, permettant d'obtenir une structure hétérogène reconstituée, l'amincissement hétérogène (16) de ladite structure par surfaçage non sélectif de la couche de polymère et d'au moins un composant passif (22).
Abstract:
L'invention concerne un Module électronique 3D comportant selon une direction dite verticale un empilement (4) de tranches électroniques (16), chaque tranche comportant au moins une puce (1) munie de plots d'interconnexion (10), cet empilement étant assemblé à un circuit d'interconnexion (2) du module muni de billes de connexion, les plots (10) de chaque puce étant connectés par des fils de câblage électrique (15) à des bus verticaux (41) eux-mêmes électriquement reliés au circuit (2) d'interconnexion du module, un fil de câblage et le bus vertical auquel il est relié formant un conducteur électrique entre un plot d'une puce et le circuit d'interconnexion, caractérisé en ce que chaque fil de câblage électrique (15) est relié à son bus vertical (41) en formant dans un plan vertical un angle (α2) oblique et en ce que la longueur du fil de câblage entre un plot d'une puce d'une tranche et le bus vertical correspondant est différente de la longueur du fil de câblage entre un même plot d'une puce d'une autre tranche et le bus vertical correspondant, et obtenue par un câblage non rectiligne du fil de câblage pour compenser la différence de longueur verticale du bus vertical d'une tranche à l'autre, de manière à ce que le conducteur électrique entre le plot d'une puce d'une tranche et le circuit d'interconnexion, et le conducteur électrique entre ledit même plot d'une puce de l'autre tranche et le circuit d'interconnexion, aient la même longueur.