МЕТОД ЗА ИЗРАБОТВАНЕ НА ПРИБОРИ ЗА МЕМС С ЕЛЕКТРИЧЕСКИ ЕЛЕМЕНТИ В СТРАНИЧНИТЕ ИМ СТЕНИ

    公开(公告)号:BG66488B1

    公开(公告)日:2015-05-29

    申请号:BG11109511

    申请日:2011-12-01

    Inventor: STAVROV VLADIMIR

    Abstract: Методътзаизработваненаприборизамикроелектромеханичнисистеми (МЕМС) селектрическиелементивърхустраничнитеимстение приложимзаизработваненамикроструктурис разнообразниелектрическии механичнисвойства, коитомогатдабъдатизползванизаизвършваненаизмерванияв различниобластинатехниката. Методътвключватриетапаи чрезнееднократноповторениенапроцесинасъздаваненамаскии изгражданеназащитнислоеве, структурираненамаските, легиранес високотемпературнайоннадифузияи последващипроцесинаецване, изпълняванивърхунедеформируемиполупроводниковиосновниструктури, напримермонокристалнисилициевиосновниструктури, дававъзможностзаизгражданенаелектрическиелементивърхустраничнитестенинаприборизаМЕМС. Полученитепометодаелектрическиелементимогатдабъдатеднаквиилиразлични, имогатдабъдатразположенипоцелитеиличастотстраничнитестенинаприборите. СМЕМСустройства, реализиранисъгласнометода, могатдасеизвършватизмерваниясъсзначителноувеличенаточност, прецизности чувствителност.@

    ТЕСТЕР ЗА УСТАНОВЯВАНЕ НАЛИЧИЕТО НА ИНФЕКЦИОЗНИ АГЕНТИ ВЪВ ФЛУИД

    公开(公告)号:BG113123A

    公开(公告)日:2021-11-15

    申请号:BG11312320

    申请日:2020-04-16

    Abstract: Тестеръте предназначензаустановяваненаличиетонаинфекциозниагентивъвфлуид, по-специалновируси, бактериии др. подобни, идаваинформацияв реалновреме. Тойосигурявабързадетекцияи проследимостнавсякапробазаналичиенаединилимножествопредварителноизбранивидовеинфекциозниагенти, ищенамериширокоприложение, когатое необходимоустановяване, особеноекспресно, наналичиетонаопределениинфекциозниагенти, включителнозамониторинг, превенцияи ограничаваненаепидемииприхораилиселскостопанскии домашниживотни, такивакатобозайниции птици. Тестерътвключвамонолитенсензоренприбор (3) смикроконзоли (13) ие поместенмеждуслоевефилтъренматериал (6 и 7). Сензорниятприбор (3) еснабденс микрофлуиденелемент (14) инасочващелемент (5), занасочваненапотоканаизследванияфлуид. Микроконзолитесаснабденисъссензорниелементи (17) ипонечастоттях, сносещи (20) иакцепторнислоеве (21) зазахващаненаинфекциознитеагенти (2), аостаналитемикроконзолисаеталонни.

    SENSORS FOR SCANNING PROBING MICROSCOPY, A METHOD OF THREE-DIMENSIONAL MEASUING AND A METHOD FOR PRODUCING SUCH SENSORS

    公开(公告)号:BG110480A

    公开(公告)日:2011-03-31

    申请号:BG11048009

    申请日:2009-09-29

    Inventor: STAVROV VLADIMIR

    Abstract: The invention refers to sensors for scanning probing microscopy (SPM), which offer high precision and resolution of measurement, a method for three-dimensional measurement with such sensors and a method for their production, which, by measuring the variations of the amplitude, the frequency, of the phase difference or of the tunnel current, find an application for the determination of the topography, the geometrical size or some other characteristic of objects in various fields of engineering. The sensors consist of a body, a micro bracket and a probing part, which have a common plane surfacewithin which at least one element is structured for functioning in the form of an orifice and/or a gutter, in which a heterogeneous probing element is positioned in the form of a carbon nanotube (CNT), a boron or boron nitride nanotube, a nanothread, a nanocrystal, etc., including such with a complex form, e.g. a cylinder with a sphere. The method of three dimensional measurement offers the possibility, by using sensors with elasticity in the three directions, with the usual technology of scanning probe microscopy , by measuring in a given point, to determine the characteristics of the samplein the three directions without rotating the sensor and/or the sample under study. The invention involves also a method for obtaining the sensors described in a reproducible and precise manner.

    МИКРОКОНЗОЛНИ СЕНЗОРИ ЗА КОМБИНИРАНА МИКРОСКОПИЯ

    公开(公告)号:BG66958B1

    公开(公告)日:2019-09-16

    申请号:BG11233716

    申请日:2016-07-21

    Inventor: STAVROV VLADIMIR

    Abstract: Изобретениетосеотнасядомикроконзолнисензоризаатомносиловамикроскопия, коитосаособеноподходящизаизползванев комбиниранисистеми, използващиедновременнокактоатомносиловмикроскоп, такаи оптическа, електроннаилидругвидмикроскопия, илиметодзалокалнамикро/нанообработка. Зацелтамикроконзолниятсензоротизобретението, състоящсеоттялос разпростиращасеотнегомикроконзола, съставенаотеластичниосновнаи сондовачасти, съдържав сондоватасичастотворсъссиметричниоколнисвързващиеластичниелементи. Заосигуряваненавидимостпрезотворакъмобласттанавзаимодействиенасондатас образецаи къмнейниявръх, основатанасондатазавършвав отвораи размеритенарадиуса r наосноватаи височината h насондатаудовлетворяватотношението: arctg(r/h)

    ЕЛЕКТРОМЕХАНИЧНА СИСТЕМА НА УРЕД ЗА АНАЛОГОВО ИЗМЕРВАНЕ НА СИЛА

    公开(公告)号:BG2246U1

    公开(公告)日:2016-06-30

    申请号:BG311915

    申请日:2015-10-09

    Inventor: STAVROV VLADIMIR

    Abstract: Полезниятмоделсеотнасядоелектромеханичнасистема, коятое предназначеназавгражданев уредзааналоговоизмерваненасила. Тященамериприложениев устройствазаизмерваненасилив множествообласти, вкл. вбързииндустриалнисистемис високаточност. Систематавключвачетириотделниизмерителянасила (Gi), поместенив четириопори (2) зафиксиранекъмплатформа. Всекиизмерител (Gi) съдържапредавателенмеханизъм (4’) исензор (7), катов предавателниямеханизъмсаоформенигорна (8) идолна (8’) междинни, ивсекиотделенизмерител (Gi), съдържасамопоединсензорзаизмерваненапреместване, снабденс калибриращдиференциаленусилвателнасигнала. Сензорите (7) саразположениредуващосев горнатаилив долнатамеждинанапредавателнитемеханизми (4’), исасвързаниелектрическив мостовасхема. Изходнитесигналинасензорите (7) сакалибрирании подаденидва-по-двазааналоговосумиранекъмдвапървичнисуматора (Si), свързаникъмкраенаналоговсуматор (Sk), даващсуматаотчетиритеедновременноизмерении калибриранисензорнисигналиотизмерителите (Gi). 4 претенции, 4 фигури

    КОНТАКТЕН МИКРОЕЛЕКТРОМЕХАНИЧЕН СЕНЗОР И МЕТОД ЗА ОПРЕДЕЛЯНЕ НА ПОЗИЦИЯ С НЕГО

    公开(公告)号:BG111754A

    公开(公告)日:2015-10-30

    申请号:BG11175414

    申请日:2014-04-29

    Inventor: STAVROV VLADIMIR

    Abstract: Изобретениетосеотнасядомикроелектромеханични (МЕМС) сензоризаконтактноизмерваненапозициянамикро- имакроразмерниобектис работендиапазондо 5 mm идометодзаопределяненапозицияс разделителнаспособностотпорядъканананометрии по-добра. Сензорътнамираприложениев позициониращисистемис многовисокаразделителнаспособност, заизмерванияи контролв областтанамикро-/нанотехнологиите. Чрезизползваненапреобразуващимеханизми, сензоръти методътсаприложимивъввсичкиобласти, къдетоконтролътнаспецифичнивеличинисесвеждадоконтролнапозиция. Сензорътсесъстоиотнеподвижнотяло (1) сразпростиращасеотнегоизмерителнамикроконзола (2), восноватанакоятосавграденипиезорезистори (4), иподвиженелемент (1'), койтосезакрепванеподвижнокъмподвиженобект, накойтосеопределяпозицията. Тялото (1), закрепенокъмнеподвиженобект, иелементът (1') сасвързанипосредствомпонеединеластиченпредавателенмеханизъм (5), включващмикроконзолата (2), къмподвижниякрайнакоятое присъединенаверигаотдопълнителнигъвкавиелементи (6, 7, 8, 14 или 10). Сензоръте изработенмонолитноотеднаподложка, сплоскагорнаповърхност. 10 претенции, 6 фигури

    METHOD FOR RECEIVING DEVICES FOR MEMS WITH ELECTRIC ELEMENTS ON THEIR SIDEWALLS

    公开(公告)号:BG110397A

    公开(公告)日:2010-12-30

    申请号:BG11039709

    申请日:2009-06-05

    Inventor: STAVROV VLADIMIR

    Abstract: The invention relates to a method for receiving devices for Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) with electric elements on their sidewalls, which finds application in the preparation of microstructures with diverse electric and mechanical properties that may be used for performing measurements in various technical fields. The method is a three-phase one, and with reiterated repetition of processes of masks creation and building protective layers, structuring the masks, ligating by high-temperature ion diffusion and following pickling, performed on unyielding semiconductor basic structures,e.g. monocrystal silicon basic structures, provides possibility for building electric elements on the sidewalls of devices for MEMC. The obtained by the method electric elements may be equal or different, and may be situated on the entire sidewalls of the devices or on part of them. With them may be performed measurements with considerably increased accuracy and sensitivity to impacts in sidewiseand vertical to the device directions, and in some cases may be made direct measurements of absolute values.

    ПРИБОР ЗА МОНИТОРИНГ НА ГАЗОВЕ

    公开(公告)号:BG112997A

    公开(公告)日:2021-03-31

    申请号:BG11299719

    申请日:2019-09-17

    Inventor: STAVROV VLADIMIR

    Abstract: Изобретениетосеотнасядоприборзаопределяненафизическипараметрии химическиясъставнагаз, чрезизмерваненапотокоттозигази щенамериприложениев индустриятаи бита, напр. всистемизаклиматизацияи вентилация, заопределянекачествотонавъздухилимониторингнадругигазовисмеси. Спомощтанаприбораотизобретениетоможедасеосъществявапо-ефективенконтролнагазовеи дасеосигурявакомфорти безопасност. Приборът (1) сесъстоиоттяло (3), снабденос входени изходенелементзаосигуряваненапотокотгаз, вкоетосапоместенисензори (12) замониторинганагаза. Приборът (1) екомбиниранзаедновременноопределяненафизическитепараметрии нахимическитекомпоненти, откоитое съставенгаза, итяхнатаконцентрация. Сензорите (12) саснабденис микроконзоли (13) сподбранаселективности чувствителност. Тойсъдържасредствазаспоменатотоедновременноопределяне, всякооткоитовключваизбранимикроконзоли (13) иактюиращелемент (14, 17) къмтях, разположенив общаизмервателнакамера (11), формиранавъввътрешносттанатялото (3).

    МЕМС ПРИБОР С ФУНКЦИОНАЛНИ ЕЛЕМЕНТИ

    公开(公告)号:BG67030B1

    公开(公告)日:2020-03-16

    申请号:BG11223616

    申请日:2016-03-08

    Inventor: STAVROV VLADIMIR

    Abstract: ИзобретениетосеотнасядоприборотгрупатанамикроелектромеханичнитесистемиилиМЕМСприбор, свграденифункционалниелементиотграфенс дебелинаотединдостоатомнислоя. По-конкретно, МЕМСприборът, съгласноизобретението, сесъстоиоттялои еластиченелемент-конзолаилимембрана, свграденикъмеластичнияелементосвободенифункционалниелементиотултратънкиграфеновислоеве, разположенинадотвор, обхванатиотподходящиконтури, пожеланиесвързанис проводящивръзкии снабденис контакти. Връзкитеи контактитесаотдвуслойнаструктура, представляващаполиранслойотметал, напримермед, върхукойтоимаслойотграфен. Приборъте сразнообразниприложения, напримерфилтър, сензори др., каточрезсъздаденитеспецифичниелектропроводящи, механичнии/илитоплопроводящиконтактии връзкие осигуренавъзможностзанеговотопрактическопромишленоизползване. Изобретениетощенамериприложениев областтанасъздаваненасредствазаизмерване, анализи контролнаразличнивеличинии параметринаоколнатасреда, сприложениев научнитеизследвания, наукитезаживота, материалознанието, индустрията, битаи др.

    МИКРОКОНЗОЛНИ СЕНЗОРИ ЗА КОМБИНИРАНА МИКРОСКОПИЯ

    公开(公告)号:BG112337A

    公开(公告)日:2018-01-31

    申请号:BG11233716

    申请日:2016-07-21

    Inventor: STAVROV VLADIMIR

    Abstract: Изобретениетосеотнасядомикроконзолнисензоризаатомносиловамикроскопия, коитосаособеноподходящизаизползванев комбиниранисистеми, използващиедновременнокактоатомносиловмикроскоп, такаи оптическа, електроннаилидругвидмикроскопия, илиметодзалокалнамикро/нанообработка. Зацелтамикроконзолниятсензоротизобретението, състоящсеоттялос разпростиращасеотнегомикроконзола, съставенаотеластичниосновнаи сондовачасти, съдържав сондоватасичастотворсъссиметричниоколнисвързващиеластичниелементи. Заосигуряваненавидимостпрезотворакъмобласттанавзаимодействиенасондатас образецаи къмнейниявръх, основатанасондатазавършвав отвораи размеритенарадиуса r наосноватаи височината h насондатаудовлетворяватотношението: arctg(r/h)

Patent Agency Ranking