公开(公告)号：CN101136349A

公开(公告)日：2008-03-05

申请号：CN200710147721.5

申请日：2007-08-27

Applicant: ASM日本子公司

Inventor： T·山岸 ,  T·小林 ,  A·渡边 ,  K·金内

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01L21/67745 ,  H01L21/67196 ,  H01L21/67201 ,  H01L21/68707 ,  Y10S294/902 ,  Y10S414/141

Abstract: 一种用于在反应室中装载和卸载衬底的衬底传送装置，包括：具有远端的臂，该远端可以沿直线方向横向地移动；以及在反应室里装载和卸载衬底的末端操作元件，所述末端操作元件包括底部末端操作元件和上部末端操作元件。底部末端操作元件和上部末端操作元件之一可移动在所述臂的远端与所述臂连接，而底部末端操作元件和上部末端操作元件中的另一个则固定到可移动地连接着的末端操作元件上。这个固定的末端操作元件固定到这个可移动地连接着的末端操作元件。

公开(公告)号：CN101136349B

公开(公告)日：2010-12-08

申请号：CN200710147721.5

申请日：2007-08-27

Applicant: ASM日本子公司

Inventor： T·山岸 ,  T·小林 ,  A·渡边 ,  K·金内

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01L21/67745 ,  H01L21/67196 ,  H01L21/67201 ,  H01L21/68707 ,  Y10S294/902 ,  Y10S414/141

Abstract: 一种用于在反应室中装载和卸载衬底的衬底传送装置，包括：具有远端的臂，该远端可以沿直线方向横向地移动；以及在反应室里装载和卸载衬底的末端操作元件，所述末端操作元件包括底部末端操作元件和上部末端操作元件。底部末端操作元件和上部末端操作元件之一可移动在所述臂的远端与所述臂连接，而底部末端操作元件和上部末端操作元件中的另一个则固定到可移动地连接着的末端操作元件上。这个固定的末端操作元件固定到这个可移动地连接着的末端操作元件。