公开(公告)号：CN102234790B

公开(公告)日：2015-12-16

申请号：CN201110155056.0

申请日：2011-04-19

Applicant: ASM美国股份有限公司

Inventor： K·冯度鲁里亚 ,  E·谢罗 ,  M·E·韦格赫瑟 ,  C·L·怀特

IPC: C23C16/448

Abstract: 提供一种用于向反应腔室提供汽化前体的前体源容器。该前体源容器包括具有第一端口、第二端口和第三端口的盖。该前体源容器还包括可拆除地附着到该盖的基座。该基座包括形成于其中的凹陷区。该第一、第二和第三端口之一是排气端口，该排气端口构造成在半导体工艺中安装源容器之后但在使用源容器之前，释放源容器内的压头。

公开(公告)号：CN102234790A

公开(公告)日：2011-11-09

申请号：CN201110155056.0

申请日：2011-04-19

Applicant: ASM美国股份有限公司

Inventor： K·冯度鲁里亚 ,  E·谢罗 ,  M·E·韦格赫瑟 ,  C·L·怀特

IPC: C23C16/448

Abstract: 前体传输系统。提供一种用于向反应腔室提供汽化前体的前体源容器。该前体源容器包括具有第一端口、第二端口和第三端口的盖。该前体源容器还包括可拆除地附着到该盖的基座。该基座包括形成于其中的凹陷区。该第一、第二和第三端口之一是排气端口，该排气端口构造成在半导体工艺中安装源容器之后但在使用源容器之前，释放源容器内的压头。