Patent search ap:("ASM美國股份有限公司" OR "ASM AMERICA Page INC.") AND inv:"小帕格里亞羅羅伯特H."

1.

发明专利
矽表面的製備有权
Simplified title: 硅表面的制备

公开(公告)号：TWI417949B

公开(公告)日：2013-12-01

申请号：TW095130234

申请日：2006-08-17

Applicant: ASM美國股份有限公司 , ASM AMERICA, INC.

Inventor： 小帕格里亞羅羅伯特H. , PAGLIARO, JR., ROBERT H.

IPC: H01L21/30 , H01L21/02

CPC classification number: H01L21/02052 , Y10S438/906

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