Patent search ap:("ASM美國股份有限公司" OR "ASM AMERICA Page INC.") AND inv:"MACHKAOUTSAN

1.

发明专利
穩定矽化金屬膜及其製造方法有权
Simplified title: 稳定硅化金属膜及其制造方法

公开(公告)号：TWI524392B

公开(公告)日：2016-03-01

申请号：TW097108686

申请日：2008-03-12

Applicant: ASM美國股份有限公司 , ASM AMERICA, INC.

Inventor： 馬高特森弗拉基米爾 , MACHKAOUTSAN, VLADIMIR , 葛藍尼門恩斯特 H.A. , GRANNEMAN, ERNST H. A.

IPC: H01L21/28 , H01L29/45

CPC classification number: H01L21/28518

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