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公开(公告)号：TWI424084B
公开(公告)日：2014-01-21
申请号：TW096102030
申请日：2007-01-19
Applicant: ASM美國股份有限公司 , ASM AMERICA, INC.
Inventor： 普羅文撤 提莫西J. , PROVENCHER, TIMOTHY J. , 希克森 克魯閣B. , HICKSON, CRAIG B.
IPC: C23C16/455 , C30B25/14 , C30B25/10
CPC classification number: C23C16/45544 , C23C16/45536 , C23C16/45561 , C23C16/45565 , F16K27/003 , F16K51/02 , Y10T137/87684
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