公开(公告)号：TW200831698A

公开(公告)日：2008-08-01

申请号：TW096137980

申请日：2007-10-11

Applicant: ASM美國股份有限公司 ASM AMERICA, INC.

Inventor： 樊都魯黎亞 凱爾 FONDURULIA, KYLE ,  雪洛 艾立克 SHERO, ERIC ,  莫西斯 維埃茲E. VERGHESE, MOHITH E. ,  懷特 卡爾L. WHITE, CARL L.

IPC: C23C ,  H01L

CPC classification number: C23C16/4481 ,  C23C16/4401 ,  C23C16/4402

Abstract: 一種前驅體源容器,其包括容器本體、位於容器本體內的通道以及安裝至本體表面的閥。內部腔體適合於盛裝化學反應物,且通道從本體外側延伸至腔體。閥調控流經通道的流體。容器具有入口閥及出口閥,可能還包括用於排除內部氣體的排氣閥。外部氣體分配盤可包括至少一個流體置於出口閥與基板反應室之間的閥。每一氣體分配閥可位於一平面上,此平面與容器的平表面大致平行,且與容器的平表面間距不超過10cm。容器蓋體或壁內的過濾器濾除流經容器的閥的氣流。快速連接組件使容器與氣體分配盤能快速且容易地連結。

Abstract in simplified Chinese: 一种前驱体源容器,其包括容器本体、位于容器本体内的信道以及安装至本体表面的阀。内部腔体适合于盛装化学反应物,且信道从本体外侧延伸至腔体。阀调控流经信道的流体。容器具有入口阀及出口阀,可能还包括用于排除内部气体的排气阀。外部气体分配盘可包括至少一个流体置于出口阀与基板反应室之间的阀。每一气体分配阀可位于一平面上,此平面与容器的平表面大致平行,且与容器的平表面间距不超过10cm。容器盖体或壁内的过滤器滤除流经容器的阀的气流。快速连接组件使容器与气体分配盘能快速且容易地链接。