公开(公告)号：TW200929418A

公开(公告)日：2009-07-01

申请号：TW097141841

申请日：2008-10-30

Applicant: ASM美國股份有限公司 ASM AMERICA, INC.

Inventor： 艾格渥 拉敏德 AGGARWAL, RAVINDER ,  可雷夏克 馬克 KLESHOCK, MARK ,  雅可布斯 勞恩 JACOBS, LOREN

IPC: H01L ,  G01K ,  C23C

CPC classification number: G01K7/04 ,  G01K13/00 ,  G01K15/00 ,  H01L21/67248

Abstract: 本發明提供用於量測半導體製程反應室中之溫度的系統。實施例提供一種多接面熱電偶(110),此多接面熱電偶(110)包括第一接面(112)和第二接面(114),第一接面(112)和第二接面(114)被定位成量測基板(16)的實質上相同部份的溫度。控制器(120)可偵測第一接面(112)、第二接面(114)、自第一接面(112)延伸的第一導線對(113)或自第二接面(114)延伸之第二導線對(115)之故障。此控制器(120)理想地響應於所偵測的第一接面(112)或第一導線對(113)的故障來選擇第二接面(114)和第二導線對(115)。相反地,控制器(120)理想地響應於所偵測的第二接面(114)或第二導線對(115)的故障來選擇第一接面(112)和第一導線對(113)。本文所教示的系統可允許準確且實質上不間斷地進行溫度量測,即使在熱電偶中的接面或導線對出現故障的情況下。

Abstract in simplified Chinese: 本发明提供用于量测半导体制程反应室中之温度的系统。实施例提供一种多接面热电偶(110),此多接面热电偶(110)包括第一接面(112)和第二接面(114),第一接面(112)和第二接面(114)被定位成量测基板(16)的实质上相同部份的温度。控制器(120)可侦测第一接面(112)、第二接面(114)、自第一接面(112)延伸的第一导线对(113)或自第二接面(114)延伸之第二导线对(115)之故障。此控制器(120)理想地响应于所侦测的第一接面(112)或第一导线对(113)的故障来选择第二接面(114)和第二导线对(115)。相反地,控制器(120)理想地响应于所侦测的第二接面(114)或第二导线对(115)的故障来选择第一接面(112)和第一导线对(113)。本文所教示的系统可允许准确且实质上不间断地进行温度量测,即使在热电偶中的接面或导线对出现故障的情况下。