公开(公告)号：WO2008060754A1

公开(公告)日：2008-05-22

申请号：PCT/US2007/079335

申请日：2007-09-24

Applicant: ASM AMERICA, INC.

Inventor： WHITE, Carl, L. ,  CURRY, Paul, G.

IPC: F16K7/12

CPC classification number: F16K7/12 ,  C23C16/44 ,  C23C16/45561 ,  F16K25/005

Abstract: A valve (100) comprises a valve seat (102) and a movable diaphragm (104). The valve seat (102) defines a fluid orifice (106) and is formed at least partially of polybenzimidazole. The diaphragm (104) is sized and configured to bear against the fluid orifice (106) to substantially block fluid flow through the orifice (106). The valve (100) is advantageously used in a hot zone (34) of a semiconductor processing system.

Abstract translation: 阀（100）包括阀座（102）和活动隔膜（104）。 阀座（102）限定流体孔口（106）并且至少部分地由聚苯并咪唑形成。 隔膜（104）的尺寸和构造适于承受流体孔口（106），以基本上阻挡流过孔口（106）的流体流动。 阀（100）有利地用于半导体处理系统的热区（34）。