公开(公告)号：CN112805478B

公开(公告)日：2023-08-22

申请号：CN201980065688.2

申请日：2019-09-11

Applicant: ASML控股股份有限公司

Inventor： J·R·巴勒斯 ,  B·杰格蒂亚 ,  C·H·格里芬三世

IPC: F16B11/00 ,  B32B37/12

Abstract: 粘结设备(200)包括第一衬底(202)、第二衬底(204)、粘结层(206)、和加热元件(300)。所述粘结层(206)被设置在所述第一衬底(202)与第二衬底(204)之间。所述粘结层(206)被配置成将所述第一衬底(202)和第二衬底(204)粘结在一起。所述加热元件(300)被设置在所述第一衬底(202)与第二衬底(204)之间并且接触所述粘结层(206)。所述加热元件(300)被配置成产生用于将所述第一衬底(202)和第二衬底(204)粘结在一起或用于使所述第一衬底(202)和第二衬底(204)脱粘分离开的局部电阻加热。

公开(公告)号：CN112805478A

公开(公告)日：2021-05-14

申请号：CN201980065688.2

申请日：2019-09-11

Applicant: ASML控股股份有限公司

Inventor： J·R·巴勒斯 ,  B·杰格蒂亚 ,  C·H·格里芬三世

IPC: F16B11/00 ,  B32B37/12

Abstract: 粘结设备(200)包括第一衬底(202)、第二衬底(204)、粘结层(206)、和加热元件(300)。所述粘结层(206)被设置在所述第一衬底(202)与第二衬底(204)之间。所述粘结层(206)被配置成将所述第一衬底(202)和第二衬底(204)粘结在一起。所述加热元件(300)被设置在所述第一衬底(202)与第二衬底(204)之间并且接触所述粘结层(206)。所述加热元件(300)被配置成产生用于将所述第一衬底(202)和第二衬底(204)粘结在一起或用于使所述第一衬底(202)和第二衬底(204)脱粘分离开的局部电阻加热。