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公开(公告)号：CN113454535B
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202080014571.4
申请日：2020-01-27
Applicant: ASML控股股份有限公司
Abstract: 一种设备，包括第一基板、第二基板和设置在所述第一基板与所述第二基板之间的中间层。所述中间层被配置成作为在所述设备受到外力的情况下的第一失效点或破损点。所述设备还可以包括设置在所述第一基板与所述第二基板之间的结合层。所述结合层被配置成将所述中间层结合到所述第一基板和第二基板。所述设备还可以包括被联接至所述第一基板和所述第二基板的紧固件。所述紧固件被配置成将所述中间层固定到所述第一基板和所述第二基板。所述中间层可以包括涂覆至所述第一衬底或所述第二衬底的涂层。所述设备还可以包括设置在所述第一基板与所述紧固件之间或所述第二基板与所述紧固件之间的第二中间层。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113227903B
公开(公告)日：2024-08-20
申请号：CN201980085296.2
申请日：2019-12-12
Applicant: ASML控股股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本文中的实施例描述一种用以为物体提供支撑的安全装置。所述安全装置包括壳体，所述壳体包括沿所述壳体的长度延伸的转动轴。所述安全装置还包括联接至所述转动轴的第一端的旋转电机、和联接至与所述转动轴的所述第一端相反的所述转动轴的第二端的安全闩锁。所述转动轴的转动使所述安全闩锁转动。所述安全闩锁沿径向方向延伸远离所述转动轴。所述安全闩锁包括位于所述安全闩锁的远离所述转动轴的远端处的支脚部分。所述支脚部分被设计用以充当用于所述物体的接触点。
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公开(公告)号：CN113454535A
公开(公告)日：2021-09-28
申请号：CN202080014571.4
申请日：2020-01-27
Applicant: ASML控股股份有限公司
Abstract: 一种设备，包括第一基板、第二基板和设置在所述第一基板与所述第二基板之间的中间层。所述中间层被配置成作为在所述设备受到外力的情况下的第一失效点或破损点。所述设备还可以包括设置在所述第一基板与所述第二基板之间的结合层。所述结合层被配置成将所述中间层结合到所述第一基板和第二基板。所述设备还可以包括被联接至所述第一基板和所述第二基板的紧固件。所述紧固件被配置成将所述中间层固定到所述第一基板和所述第二基板。所述中间层可以包括涂覆至所述第一衬底或所述第二衬底的涂层。所述设备还可以包括设置在所述第一基板与所述紧固件之间或所述第二基板与所述紧固件之间的第二中间层。
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公开(公告)号：CN113227903A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN201980085296.2
申请日：2019-12-12
Applicant: ASML控股股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本文中的实施例描述一种用以为物体提供支撑的安全装置。所述安全装置包括壳体，所述壳体包括沿所述壳体的长度延伸的转动轴。所述安全装置还包括联接至所述转动轴的第一端的旋转电机、和联接至与所述转动轴的所述第一端相反的所述转动轴的第二端的安全闩锁。所述转动轴的转动使所述安全闩锁转动。所述安全闩锁沿径向方向延伸远离所述转动轴。所述安全闩锁包括位于所述安全闩锁的远离所述转动轴的远端处的支脚部分。所述支脚部分被设计用以充当用于所述物体的接触点。
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公开(公告)号：CN112805478B
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN201980065688.2
申请日：2019-09-11
Applicant: ASML控股股份有限公司
Abstract: 粘结设备(200)包括第一衬底(202)、第二衬底(204)、粘结层(206)、和加热元件(300)。所述粘结层(206)被设置在所述第一衬底(202)与第二衬底(204)之间。所述粘结层(206)被配置成将所述第一衬底(202)和第二衬底(204)粘结在一起。所述加热元件(300)被设置在所述第一衬底(202)与第二衬底(204)之间并且接触所述粘结层(206)。所述加热元件(300)被配置成产生用于将所述第一衬底(202)和第二衬底(204)粘结在一起或用于使所述第一衬底(202)和第二衬底(204)脱粘分离开的局部电阻加热。
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公开(公告)号：CN112805478A
公开(公告)日：2021-05-14
申请号：CN201980065688.2
申请日：2019-09-11
Applicant: ASML控股股份有限公司
Abstract: 粘结设备(200)包括第一衬底(202)、第二衬底(204)、粘结层(206)、和加热元件(300)。所述粘结层(206)被设置在所述第一衬底(202)与第二衬底(204)之间。所述粘结层(206)被配置成将所述第一衬底(202)和第二衬底(204)粘结在一起。所述加热元件(300)被设置在所述第一衬底(202)与第二衬底(204)之间并且接触所述粘结层(206)。所述加热元件(300)被配置成产生用于将所述第一衬底(202)和第二衬底(204)粘结在一起或用于使所述第一衬底(202)和第二衬底(204)脱粘分离开的局部电阻加热。
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