公开(公告)号：CN110622069B

公开(公告)日：2022-08-09

申请号：CN201880029609.8

申请日：2018-03-29

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： A·雅玛 ,  C·E·塔贝里 ,  S·H·C·范戈尔普 ,  林晨希 ,  D·索恩塔格 ,  H·E·切克利 ,  R·阿尔瓦雷斯·桑切斯 ,  刘士嵚 ,  S·P·S·哈斯廷斯 ,  B·门奇特奇科夫 ,  C·T·德鲁伊特尔 ,  P·滕伯格 ,  M·J·勒塞尔 ,  段薇 ,  P-Y·J·Y·吉特

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种用于预测经受工艺的衬底的电特性的方法和相关联的计算机程序。该方法包括：基于电计量数据和包括至少一个参数的测量的工艺计量数据的分析，确定电特性对工艺特性的灵敏度，电计量数据包括从先前处理的衬底测量的电特性，至少一个参数与从先前处理的衬底测量的工艺特性相关；获取与衬底相关的描述至少一个参数的工艺计量数据；以及基于灵敏度和工艺计量数据，预测衬底的电特性。

公开(公告)号：CN110622069A

公开(公告)日：2019-12-27

申请号：CN201880029609.8

申请日：2018-03-29

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： A·雅玛 ,  C·E·塔贝里 ,  S·H·C·范戈尔普 ,  林晨希 ,  D·索恩塔格 ,  H·E·切克利 ,  R·阿尔瓦雷斯·桑切斯 ,  刘士嵚 ,  S·P·S·哈斯廷斯 ,  B·门奇特奇科夫 ,  C·T·德鲁伊特尔 ,  P·滕伯格 ,  M·J·勒塞尔 ,  段薇 ,  P-Y·J·Y·吉特

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种用于预测经受工艺的衬底的电特性的方法和相关联的计算机程序。该方法包括：基于电计量数据和包括至少一个参数的测量的工艺计量数据的分析，确定电特性对工艺特性的灵敏度，电计量数据包括从先前处理的衬底测量的电特性，至少一个参数与从先前处理的衬底测量的工艺特性相关；获取与衬底相关的描述至少一个参数的工艺计量数据；以及基于灵敏度和工艺计量数据，预测衬底的电特性。

公开(公告)号：CN115220311A

公开(公告)日：2022-10-21

申请号：CN202210869852.9

申请日：2018-03-29

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： A·雅玛 ,  C·E·塔贝里 ,  S·H·C·范戈尔普 ,  林晨希 ,  D·索恩塔格 ,  H·E·切克利 ,  R·阿尔瓦雷斯·桑切斯 ,  刘士嵚 ,  S·P·S·哈斯廷斯 ,  B·门奇特奇科夫 ,  C·T·德鲁伊特尔 ,  P·滕伯格 ,  M·J·勒塞尔 ,  段薇 ,  P-Y·J·Y·吉特

IPC: G03F7/20

Abstract: 本公开涉及用于预测器件制造工艺的良率的方法。一种用于预测经受工艺的衬底的电特性的方法和相关联的计算机程序。该方法包括：基于电计量数据和包括至少一个参数的测量的工艺计量数据的分析，确定电特性对工艺特性的灵敏度，电计量数据包括从先前处理的衬底测量的电特性，至少一个参数与从先前处理的衬底测量的工艺特性相关；获取与衬底相关的描述至少一个参数的工艺计量数据；以及基于灵敏度和工艺计量数据，预测衬底的电特性。