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公开(公告)号：CN113795912A
公开(公告)日：2021-12-14
申请号：CN202080034454.4
申请日：2020-05-07
Applicant: ASML荷兰有限公司
IPC: H01L21/683 , G03F7/20
Abstract: 一种设备，包括：静电夹具，所述静电夹具用于夹持部件；和用于在所述静电夹具相邻处产生自由电荷的机构。所述静电夹具包括一电极或多个电极。所述设备被配置成：在第一模式中操作，在所述第一模式中，所述电极或每个电极被设置处于一电位，使得在所述静电夹具与所述部件之间产生夹持电场以夹持所述部件；在第二模式中操作，在所述第二模式中，所述电极的所述电位或每个电极的每个电位被设置成对所述部件的夹持被松开；和在第三模式中操作，在所述第三模式中，所述电极的所述电位或每个电极的每个电位被设置成使得与在所述第一模式或第二模式中操作相比，由所述机构产生的通往所述部件的与所述静电夹具相邻的表面的自由电荷的通量增加。
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