公开(公告)号：CN108698850A

公开(公告)日：2018-10-23

申请号：CN201780013932.1

申请日：2017-02-09

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： P·M·鲍姆加特 ,  C·拉加古鲁 ,  B·A·萨姆斯 ,  A·B·里丁格 ,  J·K·卡多库斯 ,  G·O·瓦申科

IPC: C01G19/02 ,  C22B7/04 ,  C22B25/08 ,  G21K5/08

CPC classification number: H05G2/008 ,  C22B9/04 ,  C22B25/08 ,  F27B17/00 ,  F27B17/02 ,  H05G2/005

Abstract: 一种用于净化用于EUV光源的靶材料的脱氧系统包括炉子，该炉子具有中央区域和用于以均匀方式加热中央区域的加热器。容器被插入炉子的中央区域，并且坩埚设置在容器内。封闭装置覆盖容器的开口端以形成具有真空和压力能力的密封。该系统还包括气体输入管、气体排出管和真空端口。气体供应网络与气体输入管的一端流动连通地耦合，并且气体供应网络与气体排出管的一端流动连通地耦合。真空网络与真空端口的一端流动连通地耦合。还描述了一种用于净化靶材料的方法和设备。

公开(公告)号：CN111034367B

公开(公告)日：2024-03-12

申请号：CN201880054900.0

申请日：2018-08-10

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： A·B·里丁格 ,  K·J·斯卡菲迪 ,  M·A·小佩里

IPC: H05G2/00

Abstract: 一种靶材料容器包括：包括沿第一方向延伸的通路的结构，该通路被配置为接收沿靶材料路径行进的靶材料；以及偏转器系统，其被配置为从通路接收靶材料。偏转器系统包括多个偏转器元件。每个偏转器元件相对于靶材料的实例沿靶材料路径行进的行进方向以第一锐角被定向，并且偏转器系统中的每个偏转器元件与最近的偏转器元件沿与第一方向不同的第二方向分开一定距离。

公开(公告)号：CN108698850B

公开(公告)日：2022-04-15

申请号：CN201780013932.1

申请日：2017-02-09

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： P·M·鲍姆加特 ,  C·拉加古鲁 ,  B·A·萨姆斯 ,  A·B·里丁格 ,  J·K·卡多库斯 ,  G·O·瓦申科

IPC: C01G19/02 ,  C22B7/04 ,  C22B25/08 ,  G21K5/08

Abstract: 一种用于净化用于EUV光源的靶材料的脱氧系统包括炉子，该炉子具有中央区域和用于以均匀方式加热中央区域的加热器。容器被插入炉子的中央区域，并且坩埚设置在容器内。封闭装置覆盖容器的开口端以形成具有真空和压力能力的密封。该系统还包括气体输入管、气体排出管和真空端口。气体供应网络与气体输入管的一端流动连通地耦合，并且气体供应网络与气体排出管的一端流动连通地耦合。真空网络与真空端口的一端流动连通地耦合。还描述了一种用于净化靶材料的方法和设备。

公开(公告)号：CN118475882A

公开(公告)日：2024-08-09

申请号：CN202280086649.2

申请日：2022-11-22

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： A·B·里丁格 ,  徐牧晨

IPC: G03F7/20 ,  F16L23/16 ,  B01J19/00 ,  F16J15/00

Abstract: 一种光刻装置包括：用于照射图案形成装置的图案的照射系统，和用于将图案的图像投射到衬底上的投射系统。该照射系统包括第一封壳、第二封壳、密封设备和保护设备。第一封壳围封第一环境，并且包括第一开口和与第一开口相对应的第一连接。第二封壳包括第二连接结构，其被耦接到第一连接结构以防止第一环境与在第一封壳和第二封壳外部的第二环境之间的物质的混合。密封设备设置在第一连接结构和第二连接结构之间。密封设备的材料对于第一环境而言具有化学反应性。保护设备邻近第一环境设置在密封设备上，以将密封设备与第一环境屏蔽开。

公开(公告)号：CN115553070A

公开(公告)日：2022-12-30

申请号：CN202180033361.4

申请日：2021-04-08

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： A·B·里丁格 ,  K·J·斯卡菲迪 ,  N·J·莱德斯马 ,  T·哈洛伦

IPC: H05G2/00 ,  F16L27/111 ,  F16L51/03

Abstract: 一种装置包括：机械绝缘设备，该机械绝缘设备具有柔性波纹管(315)，该柔性波纹管(315)在第一凸缘和第二凸缘(325、330)之间延伸，该柔性波纹管(315)限定波纹管通道，该波纹管通道沿着轴向方向在第一凸缘的开口和第二凸缘的开口之间延伸；内刚性套筒(335)，该内刚性套筒(335)附连到第一凸缘或由第一凸缘支撑，并且在轴向方向上沿着波纹管通道延伸；以及屏蔽设备(340，包括即342、344)。内刚性套筒的外径小于柔性波纹管的内径。屏蔽设备至少部分地固定到第二凸缘或由第二凸缘支撑并且限定轴向设备开口，该轴向设备开口的直径小于柔性波纹管的内径并且大于内刚性套筒的外径。该屏蔽设备被配置为阻止微粒进入柔性波纹管与内刚性套筒之间的区域。

公开(公告)号：CN111034367A

公开(公告)日：2020-04-17

申请号：CN201880054900.0

申请日：2018-08-10

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： A·B·里丁格 ,  K·J·斯卡菲迪 ,  M·A·小佩里

IPC: H05G2/00

Abstract: 一种靶材料容器包括：包括沿第一方向延伸的通路的结构，该通路被配置为接收沿靶材料路径行进的靶材料；以及偏转器系统，其被配置为从通路接收靶材料。偏转器系统包括多个偏转器元件。每个偏转器元件相对于靶材料的实例沿靶材料路径行进的行进方向以第一锐角被定向，并且偏转器系统中的每个偏转器元件与最近的偏转器元件沿与第一方向不同的第二方向分开一定距离。