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公开(公告)号：CN115669233A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202180038819.5
申请日：2021-04-29
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： E·M·斯维尔德洛 , D·贝塞姆斯 , J·D·特德罗 , S·莱 , G·S·卡瓦利耶 , T·W·德赖森 , B·A·萨姆斯 , D·U·H·特雷斯 , E·Z·阿特尼奥 , B·M·约翰逊
IPC: H05G2/00
Abstract: 提供了用于测量极紫外(EUV)辐射系统中的辐射燃料的水平的系统、装置和方法。在一个示例中，一种用于测量燃料水平的方法包括：以预定入射角，引导检查射束通过辐射燃料的顶部表面处的燃料箱观察端口。该方法还可以包括：在与观察端口相邻定位的传感器处，接收检查射束的由辐射燃料的顶部表面反射的一部分。此外，该方法可以包括：测量与辐射燃料的顶部表面相距的距离；并且基于所测量的距离来计算燃料箱中的辐射燃料的填充水平。
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公开(公告)号：CN115669231A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202180036798.3
申请日：2021-04-26
Applicant: ASML荷兰有限公司
IPC: H05G2/00
Abstract: 一种液滴生成器喷嘴(800，820/830)，包括：金属本体(802，822)；邻近金属本体布置的金属装配件(812，823/833)；以及包括第一端和第二端的毛细管(804，824/834)。毛细管的第一端设置在金属装配件内，并且毛细管被配置从毛细管的第二端喷射材料的初始液滴。液滴生成器喷嘴还包括机电元件(808，828/838)和紧固件元件(810)，机电元件设置在金属本体内并耦接到毛细管的第一端，紧固件元件构造成围绕金属本体的一部分并围绕金属装配件夹紧。机电元件被配置成施加影响从毛细管的液滴生成的变化。毛细管的第二端从液滴生成器喷嘴的紧固件元件中的开口伸出。图8C的液滴生成器喷嘴830表示在与图8所示的横截面正交的横截面中的图8B所示的实施例。
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公开(公告)号：CN112772000A
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN201980063225.2
申请日：2019-09-25
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： D·U·H·特雷斯 , S·R·E·穆什 , B·A·萨姆斯 , A·梅迪纳·奥斯加拉 , T·W·德赖森
IPC: H05G2/00
Abstract: 一种用于控制将EUV靶材料引入EUV室的装置和方法，其中当在EUV室中形成等离子体不需要EUV靶材料时，诸如在EUV材料的分配器最初被启动或被调节的时段，选择性地阻止EUV靶材料进入EUV室。
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公开(公告)号：CN119013496A
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202380033346.9
申请日：2023-03-20
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： R·S·卡帕迪亚 , E·M·斯维尔德洛 , G·O·瓦斯琴科 , I·R·奥利弗 , C·拉加古鲁 , D·U·H·特雷斯 , B·A·萨姆斯 , T·W·德赖森 , V·G·特尔卡 , A·I·厄肖夫
IPC: F16L21/00
Abstract: 一种目标材料生成器包括：储槽系统和喷嘴供应系统之间的流体流动路径，以及在流体流动路径中的耦合组件。目标材料生成器是极紫外光源的一部分。耦合组件包括第一装配件，该第一装配件耦合到第二装配件，从而沿着流体流动路径形成流动导管，其中密封部形成在第一装配件和第二装配件之间；以及套筒，该套筒沿着流动导管的内壁设置并且设置在密封部和流动导管之间，使得污染物陷阱形成在套筒和密封部之间。
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公开(公告)号：CN116157607A
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN202180059154.6
申请日：2021-07-13
Applicant: ASML荷兰有限公司
IPC: F16J15/06
Abstract: 一种目标材料供应装置，包括：第一流体流动部件和第二流体流动部件(1122，1126)，它们当联结在一起时限定轴向流动路径，其中轴向流动路径在目标材料流体的源和喷嘴供应装置之间；以及耦合装置，其被配置为密封在第一流体流动部件和第二流体流动部件之间的接头。耦合装置包括具有限定内开口的环形形状的垫圈(1105)，当被安置和密封时该内开口是轴向流动路径的一部分。当垫圈被安置在第一流体流动部件和第二流体流动部件之间从而密封通过附接第一流体流动部件和第二流体流动部件而形成的接头时，从沿着轴向流动路径穿过垫圈内开口的目标材料流体施加到垫圈的压力改善了接头处的密封的气密功能。可选地，功能插入件，例如限流件(1160)能够被安置在垫圈中。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114555537A
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN202080072568.8
申请日：2020-10-09
Applicant: ASML荷兰有限公司
Abstract: 公开了一种制造用于激光产生的等离子体辐射源的液滴生成器喷嘴的方法。所述方法包括将玻璃毛细管设置在金属装配件的通孔中，加热所述金属装配件；以及向所述玻璃毛细管施加压力，使得所述玻璃毛细管与所述通孔的形状保形并与所述通孔形成直接的玻璃－金属密封。还公开了一种用于激光产生的等离子体辐射源的液滴生成器的喷嘴，以及所述辐射源本身，其中所述喷嘴包括用于发射作为液滴的燃料的玻璃毛细管和用于将所述玻璃毛细管耦合到所述液滴生成器的主体的金属装配件，所述玻璃毛细管与所述金属装配件的通孔的形状保形，并且其中所述玻璃毛细管与所述通孔形成直接的玻璃－金属密封。
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公开(公告)号：CN108698850B
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN201780013932.1
申请日：2017-02-09
Applicant: ASML荷兰有限公司
Abstract: 一种用于净化用于EUV光源的靶材料的脱氧系统包括炉子，该炉子具有中央区域和用于以均匀方式加热中央区域的加热器。容器被插入炉子的中央区域，并且坩埚设置在容器内。封闭装置覆盖容器的开口端以形成具有真空和压力能力的密封。该系统还包括气体输入管、气体排出管和真空端口。气体供应网络与气体输入管的一端流动连通地耦合，并且气体供应网络与气体排出管的一端流动连通地耦合。真空网络与真空端口的一端流动连通地耦合。还描述了一种用于净化靶材料的方法和设备。
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公开(公告)号：CN113874645A
公开(公告)日：2021-12-31
申请号：CN202080038363.8
申请日：2020-05-22
Applicant: ASML荷兰有限公司
Abstract: 一种流体控制设备(100)，包括：结构(120)，限定阀腔、第一流体端口(135)、第二流体端口(140)和第三流体端口(145)，第三流体端口(145)被配置为流体地联接到主体的气密内部(105)；以及柱塞阀(130)，位于阀腔内并且被配置为在第一模式与第二模式之间移动，同时维持主体的气密内部。在第一模式下，柱塞阀打开，使得第一流体流动路径在气密内部与第一流体端口之间打开，并且流体在第一流体端口与气密内部之间自由通过。在第二模式下，柱塞阀关闭，使得第一流体端口与气密内部被柱塞阀阻挡开，并且第二流体流动路径在气密内部与第二流体端口之间打开。
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公开(公告)号：CN114555537B
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202080072568.8
申请日：2020-10-09
Applicant: ASML荷兰有限公司
Abstract: 公开了一种制造用于激光产生的等离子体辐射源的液滴生成器喷嘴的方法。所述方法包括将玻璃毛细管设置在金属装配件的通孔中，加热所述金属装配件；以及向所述玻璃毛细管施加压力，使得所述玻璃毛细管与所述通孔的形状保形并与所述通孔形成直接的玻璃－金属密封。还公开了一种用于激光产生的等离子体辐射源的液滴生成器的喷嘴，以及所述辐射源本身，其中所述喷嘴包括用于发射作为液滴的燃料的玻璃毛细管和用于将所述玻璃毛细管耦合到所述液滴生成器的主体的金属装配件，所述玻璃毛细管与所述金属装配件的通孔的形状保形，并且其中所述玻璃毛细管与所述通孔形成直接的玻璃－金属密封。
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公开(公告)号：CN113273314B
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN201980087171.3
申请日：2019-12-13
Applicant: ASML荷兰有限公司
IPC: H05G2/00
Abstract: 一种用于控制将EUV目标材料引入EUV腔室的装置，其中流限制器的孔口被放置在目标材料通过微滴生成器的流动路径中，例如，在微滴生成器内过滤器的上游位置处。此外，液态锡传感器(例如，传导探针或电负载检测器)可以位于微滴生成器的加热器块的体积中。流限制器可以被配置为附加地用作例如用于过滤器的密封件。因此，流限制器可以被配置为金属盘，该金属盘还可以用作密封垫圈。例如，金属可以是未经退火的钽、钽‑钨合金、经退火的钼、钼‑铼合金、或经退火的铼。
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