-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114555537A
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN202080072568.8
申请日：2020-10-09
Applicant: ASML荷兰有限公司
Abstract: 公开了一种制造用于激光产生的等离子体辐射源的液滴生成器喷嘴的方法。所述方法包括将玻璃毛细管设置在金属装配件的通孔中，加热所述金属装配件；以及向所述玻璃毛细管施加压力，使得所述玻璃毛细管与所述通孔的形状保形并与所述通孔形成直接的玻璃－金属密封。还公开了一种用于激光产生的等离子体辐射源的液滴生成器的喷嘴，以及所述辐射源本身，其中所述喷嘴包括用于发射作为液滴的燃料的玻璃毛细管和用于将所述玻璃毛细管耦合到所述液滴生成器的主体的金属装配件，所述玻璃毛细管与所述金属装配件的通孔的形状保形，并且其中所述玻璃毛细管与所述通孔形成直接的玻璃－金属密封。
-
公开(公告)号：CN117480868A
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202280041058.3
申请日：2022-05-26
Applicant: ASML荷兰有限公司
IPC: H05G2/00
Abstract: 一种系统包括：包括孔口的导管，该孔口被配置为流体地联接到贮存器并且发射熔融的靶材料；致动器，其至少包括第一区和在第一区与孔口之间的第二区，其中第一区和第二区的运动被传递到该导管的内部；以及控制器，其被配置为将第一致动信号施加到第一区并且将第二致动信号施加到第二区。第二致动信号具有比第一致动信号更高的频率。
-
公开(公告)号：CN114555537B
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202080072568.8
申请日：2020-10-09
Applicant: ASML荷兰有限公司
Abstract: 公开了一种制造用于激光产生的等离子体辐射源的液滴生成器喷嘴的方法。所述方法包括将玻璃毛细管设置在金属装配件的通孔中，加热所述金属装配件；以及向所述玻璃毛细管施加压力，使得所述玻璃毛细管与所述通孔的形状保形并与所述通孔形成直接的玻璃－金属密封。还公开了一种用于激光产生的等离子体辐射源的液滴生成器的喷嘴，以及所述辐射源本身，其中所述喷嘴包括用于发射作为液滴的燃料的玻璃毛细管和用于将所述玻璃毛细管耦合到所述液滴生成器的主体的金属装配件，所述玻璃毛细管与所述金属装配件的通孔的形状保形，并且其中所述玻璃毛细管与所述通孔形成直接的玻璃－金属密封。
-
公开(公告)号：CN118303134A
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202280077315.9
申请日：2022-11-18
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： B·L·W·M·范德文 , W·P·范德伦特 , N·J·W·鲁弗斯 , E·J·比伊斯 , D·J·M·迪莱克斯 , M·W·L·H·费杰兹 , J·H·W·雅各布斯 , B·L·柯纳彭 , J·S·C·维斯特尔拉肯
IPC: H05G2/00
Abstract: 本发明涉及一种用于将液体目标材料供应至辐射源的设备，包括：第一贮液器；加压系统，所述加压系统被配置成对液压流体加压；以及分离装置，所述分离装置被配置成将所述液压流体与所述第一贮液器中的所述液体目标材料分离且将压力从所述液压流体传送至所述液体目标材料。本发明也涉及一种将液体目标材料供应至辐射源的相关联的方法。
-
公开(公告)号：CN118120340A
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN202280069443.9
申请日：2022-10-04
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： E·J·比伊斯 , E·T·M·比拉特 , R·M·J·斯温克尔斯 , B·L·W·M·范德文
IPC: H05G2/00
Abstract: 一种燃料液滴喷嘴组件包括第一中空主体和压电元件。第一中空主体包括入口、出口和孔，孔在入口和出口之间延伸。在使用中，燃料(例如液态锡)可以在压力下经由入口被提供到第一中空主体中。压电元件包围第一中空主体，并与第一中空主体直接接触或间接接触。在使用中，压电元件可以被配置为在激励频率下挤压第一中空主体，并且可以用于在第一中空主体中产生声波。燃料液滴喷嘴组件还可以包括第二中空主体，该第二中空主体包围压电元件，并与压电元件直接接触或间接接触。附加地或替代地，第一中空主体可以是至少由以下形成的复合主体：由金属形成的外部支撑部分；和由玻璃材料形成的内部部分。
-
-
-
-
Search Results
5
records
(took 0.029 seconds)
