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公开(公告)号：CN104871090B
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：CN201380063824.7
申请日：2013-09-17
Applicant: ASML荷兰有限公司
CPC classification number: G03F7/70091 , G01C9/06 , G01C2009/066 , G02B7/1821 , G03F7/70116 , H01F7/0231 , H01F7/206 , H01H2051/2218 , H02K41/00
Abstract: 一种用于使例如反射镜位移的致动器(300)，通过改变两个电磁体(370、372、376、378)中的电流提供了具有至少两个自由度的运动。移动部分包括具有被约束为在工作区域之上移动的磁面的永磁体(362)，该工作区域基本上位于垂直于磁体的磁化的方向的第一平面中。电磁体具有基本上位于与第一平面接近平行的第二平面中的极面(380、382)，每个极面基本上填充由移动磁体的面横切的区域的四分之一。光学位置传感器(390)可以通过在电磁体之间的中心空间将辐射束(398)引导在移动磁体处。可以使光瞳反射镜装置中的琢面的尺寸在外围区域中较小，而在中心区域中较大，由此放松聚焦要求。
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公开(公告)号：CN105359038A
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201480034718.0
申请日：2014-06-17
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： A·尼基佩洛维 , O·弗里吉恩斯 , G·德弗里斯 , E·鲁普斯特拉 , V·巴尼内 , P·德加格 , R·唐克 , H-K·尼恩海斯 , B·克瑞金加 , W·恩格伦 , O·鲁伊藤 , J·艾科曼斯 , L·格里敏克 , V·里特维南科
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70033 , G01J1/0407 , G01J1/0418 , G01J1/26 , G01J1/429 , G02B1/06 , G02B5/205 , G02B26/023 , G03F7/70008 , G03F7/7055 , G03F7/70558 , G03F7/7085 , G21K1/10 , H01S3/005 , H01S3/0085 , H01S3/0903 , H05H7/04 , G03F7/2004
Abstract: 一种图案化光刻衬底的方法，该方法包括使用自由电子激光器(FEL)以产生EUV辐射并且输送EUV辐射至将EUV辐射投影至光刻衬底上的光刻设备(LA)，其中该方法进一步包括通过使用基于反馈的控制回路(CT)以监测自由电子激光器并相应地调整自由电子激光器的操作从而减少输送至光刻衬底的EUV辐射功率的波动。
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公开(公告)号：CN105359038B
公开(公告)日：2018-08-10
申请号：CN201480034718.0
申请日：2014-06-17
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： A·尼基佩洛维 , O·弗里吉恩斯 , G·德弗里斯 , E·鲁普斯特拉 , V·巴尼内 , P·德加格 , R·唐克 , H-K·尼恩海斯 , B·克瑞金加 , W·恩格伦 , O·鲁伊藤 , J·艾科曼斯 , L·格里敏克 , V·里特维南科
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70033 , G01J1/0407 , G01J1/0418 , G01J1/26 , G01J1/429 , G02B1/06 , G02B5/205 , G02B26/023 , G03F7/70008 , G03F7/7055 , G03F7/70558 , G03F7/7085 , G21K1/10 , H01S3/005 , H01S3/0085 , H01S3/0903 , H05H7/04
Abstract: 一种图案化光刻衬底的方法，该方法包括使用自由电子激光器(FEL)以产生EUV辐射并且输送EUV辐射至将EUV辐射投影至光刻衬底上的光刻设备(LA)，其中该方法进一步包括通过使用基于反馈的控制回路(CT)以监测自由电子激光器并相应地调整自由电子激光器的操作从而减少输送至光刻衬底的EUV辐射功率的波动。
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公开(公告)号：CN104871090A
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201380063824.7
申请日：2013-09-17
Applicant: ASML荷兰有限公司
CPC classification number: G03F7/70091 , G01C9/06 , G01C2009/066 , G02B7/1821 , G03F7/70116 , H01F7/0231 , H01F7/206 , H01H2051/2218 , H02K41/00
Abstract: 一种用于使例如反射镜位移的致动器(300)，通过改变两个电磁体(370、372、376、378)中的电流提供了具有至少两个自由度的运动。移动部分包括具有被约束为在工作区域之上移动的磁面的永磁体(362)，该工作区域基本上位于垂直于磁体的磁化的方向的第一平面中。电磁体具有基本上位于与第一平面接近平行的第二平面中的极面(380、382)，每个极面基本上填充由移动磁体的面横切的区域的四分之一。光学位置传感器(390)可以通过在电磁体之间的中心空间将辐射束(398)引导在移动磁体处。可以使光瞳反射镜装置中的琢面的尺寸在外围区域中较小，而在中心区域中较大，由此放松聚焦要求。
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