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发明公开
用于傅里叶变换光谱测定的方法和设备审中-公开

公开(公告)号：CN119317819A

公开(公告)日：2025-01-14

申请号：CN202380048092.8

申请日：2023-06-29

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： A·J·登博夫 , T·T·M·范沙伊克 , I·D·塞蒂贾 , T·C·克罗姆韦克 , M·阿迪卡里 , M·G·M·M·范卡拉埃吉

IPC: G01J3/02 , G01J3/453 , G01J3/36

Abstract: 公开了一种傅里叶变换光谱仪，包括：分束布置，该分束布置能够操作为从公共辐射源限定第一辐射源和第二辐射源，以及至少一个检测器，该检测器能够操作为检测作为至少在检测平面的第一检测平面方向上的检测位置的函数的干涉图数据，该干涉图数据由从第一辐射源发射的第一发散束和从第二辐射源发射的第二发散束的干涉产生。处理器能够操作为：对所述干涉图数据执行线性化校正以获得经线性化的干涉图数据；以及对经线性化的干涉图数据进行傅里叶变换，以获得与公共辐射源相关的光谱特性数据。

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