Patent search ap:("ASML荷兰有限公司") AND inv:"M·P·罗宾" Page 1

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发明公开
AFM工具的元件审中-实审

公开(公告)号：CN118511082A

公开(公告)日：2024-08-16

申请号：CN202280086306.6

申请日：2022-12-22

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： M·U·阿拉布 , 周子理 , N·潘迪 , C·A·弗舒伦 , W·M·J·M·科内 , G·J·弗比艾斯特 , P·G·斯蒂内肯 , M·P·罗宾

IPC: G01Q10/04 , G01Q70/14 , G03F7/20 , G01Q60/32

Abstract: 本公开涉及确定使用光刻工艺在衬底上形成的目标结构的信息。在一种布置中，提供具有悬臂和探头元件的悬臂探头。探头元件从悬臂向目标结构延伸。在悬臂探头中产生超声波。超声波通过探头元件传播到目标结构中，并从目标结构反射回到探头元件中或回到从悬臂延伸的另一个探头元件中。检测反射的超声波并将其用于确定关于目标结构的信息。

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