公开(公告)号：CN117255972A

公开(公告)日：2023-12-19

申请号：CN202280033121.9

申请日：2022-04-12

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： C·巴蒂斯塔基斯 ,  M·皮萨伦科 ,  M·G·M·M·范克莱杰 ,  V·D·鲁蒂格利安尼 ,  S·A·米德尔布鲁克 ,  C·A·弗舒伦 ,  N·盖佩恩

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种确定随机度量的方法，该方法包括：获得经训练的模型，该模型已经被训练为使训练光学量测数据与训练随机度量数据相关，其中训练光学量测数据包括多个测量信号，该多个测量信号与跨从多个训练结构散射的辐射的零阶或更高阶衍射的强度相关参数的分布有关，并且训练随机度量数据包括与所述多个训练结构有关的随机度量值，其中多个训练结构已经被形成为具有所述随机度量所依赖的一个或多个维度的变化；获得光学量测数据，该光学量测数据包括跨越从结构散射的辐射的零阶或较高阶衍射的强度相关参数的分布；以及使用经训练的模型从光学量测数据推断随机度量的值。

公开(公告)号：CN116569112A

公开(公告)日：2023-08-08

申请号：CN202180080540.3

申请日：2021-11-16

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： C·A·弗舒伦 ,  F·兹杰普 ,  N·潘迪 ,  A·P·科尼杰南贝格

IPC: G03F9/00

Abstract: 公开了一种光学成像系统和相关联的方法，该系统包括：载物台模块，其被配置为支撑物体使得物体的区域被照射束照射；物镜，其被配置为收集至少一个信号束，至少一个信号束源自物体的被照射区域；图像传感器，其被配置为捕获由物镜收集的至少一个信号束形成的图像；以及运动补偿机构，其可操作以补偿载物台模块在图像采集期间相对于物镜的相对运动。运动补偿机构引起以下各项中的一项或多项的补偿运动：所述物镜或其至少一个光学元件；所述图像传感器；和/或光学成像系统的检测分支和/或照射分支内包括的光学元件。

公开(公告)号：CN115398346A

公开(公告)日：2022-11-25

申请号：CN202180027221.6

申请日：2021-03-31

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： C·A·弗舒伦 ,  S·A·米德尔布鲁克 ,  M·皮萨伦科

IPC: G03F7/20 ,  G01N21/956 ,  G06V10/24 ,  G06V10/74 ,  G06V10/774 ,  G06V10/82 ,  G06N3/02

Abstract: 用于确定编码器和解码器网络的优化权重的方法，方法包括：针对多个测试权重中的每个测试权重，利用编码器和解码器使用测试权重进行操作来执行以下步骤：(a)使用编码器，将参考图像和畸变图像编码到隐空间中，以形成编码；(b)使用解码器对编码进行解码，以形成指示参考图像与畸变图像之间的差的畸变映射；(c)通过畸变映射，对畸变图像进行空间变换，以获得经对准的图像；(d)将经对准的图像与参考图像进行比较，以获得相似度度量；以及(e)确定至少部分地由相似度度量定义的损失函数；其中优化权重被确定为具有经优化的损失函数的测试权重。

公开(公告)号：CN118511082A

公开(公告)日：2024-08-16

申请号：CN202280086306.6

申请日：2022-12-22

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： M·U·阿拉布 ,  周子理 ,  N·潘迪 ,  C·A·弗舒伦 ,  W·M·J·M·科内 ,  G·J·弗比艾斯特 ,  P·G·斯蒂内肯 ,  M·P·罗宾

IPC: G01Q10/04 ,  G01Q70/14 ,  G03F7/20 ,  G01Q60/32

Abstract: 本公开涉及确定使用光刻工艺在衬底上形成的目标结构的信息。在一种布置中，提供具有悬臂和探头元件的悬臂探头。探头元件从悬臂向目标结构延伸。在悬臂探头中产生超声波。超声波通过探头元件传播到目标结构中，并从目标结构反射回到探头元件中或回到从悬臂延伸的另一个探头元件中。检测反射的超声波并将其用于确定关于目标结构的信息。

公开(公告)号：CN117677979A

公开(公告)日：2024-03-08

申请号：CN202280051165.4

申请日：2022-06-23

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： M·皮萨伦科 ,  S·A·米德尔布鲁克 ,  M·G·M·M·范克莱杰 ,  C·A·弗舒伦

IPC: G06T11/00 ,  G06T3/18 ,  G06T5/60 ,  G06T3/14

Abstract: 本文公开了一种其中存储有计算机程序的非暂态计算机可读介质，其中计算机程序包括代码，代码在由计算机系统执行时指示计算机系统执行用于生成合成失真图像的方法，方法包括：获取包括多个失真图像的输入集；使用模型确定输入集中的失真图像的失真模式；生成失真模式的多个不同组合；对于失真模式的多个组合中的每个组合，根据组合生成合成失真图像；以及将每个合成失真图像包括在输出集中。