公开(公告)号：WO2014114395A1

公开(公告)日：2014-07-31

申请号：PCT/EP2013/075619

申请日：2013-12-05

Applicant: ASML NETHERLANDS B.V.

Inventor： KLOMP, Petrus ,  MERTENS, Bastiaan ,  NOTENBOOM, Arnoud

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70708 ,  H01L21/6831 ,  H01L21/6833 ,  H01L21/6875 ,  H02N13/00

Abstract: An electrostatic clamp (12) comprising an electrode (2), a layer of resistive material (6) located on the electrode, and a layer of dielectric (8) located on the resistive material, wherein the electrostatic clamp further comprises burls (10) which project from the layer of dielectric.

Abstract translation: 包括电极（2），位于电极上的电阻材料层（6）和位于电阻材料上的电介质层（8）的静电夹（12），其中静电夹具还包括孔（10） 该工程从电介质层开始。

公开(公告)号：EP2948818A1

公开(公告)日：2015-12-02

申请号：EP13799323.4

申请日：2013-12-05

Applicant: ASML Netherlands B.V.

Inventor： KLOMP, Petrus ,  MERTENS, Bastiaan ,  NOTENBOOM, Arnoud

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70708 ,  H01L21/6831 ,  H01L21/6833 ,  H01L21/6875 ,  H02N13/00

Abstract: An electrostatic clamp (12) comprising an electrode (2), a layer of resistive material (6) located on the electrode, and a layer of dielectric (8) located on the resistive material, wherein the electrostatic clamp further comprises burls (10) which project from the layer of dielectric.

Abstract translation: 一种静电夹持装置，包括电极，位于电极上的电阻材料层和位于电阻材料上的电介质层，其中静电夹持装置还包括凸起， 哪个项目来自电介质层。