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公开(公告)号：KR20200125986A
公开(公告)日：2020-11-05
申请号：KR20207028249
申请日：2019-02-12
Applicant: ASML NETHERLANDS BV
Inventor： ALTINI VALERIO , STAALS FRANK
Abstract: 기판에걸쳐조명프로파일을스캐닝하여그 위에기능영역들을형성하도록구성되는스캐닝노광장치를제어하는방법이개시된다. 상기방법은스캐닝노광작업에서, 기능영역들을포함하는노광필드의노광동안조명프로파일의동적제어를위한제어프로파일을얻는단계; 및개별적인기능영역의노광품질을최적화하는단계를포함한다. 최적화하는단계는 a) 스캐닝방향으로노광필드의범위를넘어제어프로파일을확장하는단계; 및/또는 b) 제어프로파일에디컨볼루션방식을적용하는단계를포함할수 있고, 디컨볼루션방식의구조는스캐닝방향으로의조명프로파일의치수에기초한다.
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