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公开(公告)号：KR20200135877A
公开(公告)日：2020-12-03
申请号：KR20207031464
申请日：2019-04-11
Applicant: ASML NETHERLANDS BV
Inventor： HU XUERANG , LIU XUEDONG , CHEN ZHONGWEI , REN WEIMING
IPC: H01J37/317 , H01J37/14 , H01J37/147 , H01J37/153
Abstract: 하전입자빔 장치의개선된소스전환유닛이개시된다. 소스전환유닛은복수의마이크로-구조체들을포함하는제 1 마이크로-구조체어레이를포함한다. 복수의마이크로-구조체들은 1 이상의그룹으로그룹화된다. 하나의그룹내의마이크로-구조체들의대응하는전극들은드라이버에의해전기적으로연결되고구동되어빔릿들의대응하는그룹에영향을미친다. 하나의그룹내의마이크로-구조체들은단극구조체들또는다극구조체들일수 있다. 하나의그룹내의마이크로-구조체들은상기장치의광학축선으로부터동일하거나실질적으로동일한반경방향시프트들을갖는다. 하나의그룹내의마이크로-구조체들은그 반경방향시프트방향들에대해동일하거나실질적으로동일한방위각도들을갖는다.
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