公开(公告)号：DK3851904T3

公开(公告)日：2023-02-27

申请号：DK20213776

申请日：2020-12-14

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： SABERT HENDRIK ,  UEBEL PATRICK SEBASTIAN ,  PONGERS WILLEM RICHARD

IPC: G02F1/01 ,  G02B6/02 ,  G02F1/383 ,  G03F7/00

公开(公告)号：DK3819267T3

公开(公告)日：2022-08-29

申请号：DK20203995

申请日：2020-10-27

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： SABERT HENDRIK ,  TEUNISSEN PAULUS ANTONIUS ANDREAS

IPC: C03B37/012 ,  C03B37/027 ,  C03C15/00 ,  C03C25/68 ,  G02B5/00