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公开(公告)号：NL2009824A
公开(公告)日：2013-06-24
申请号：NL2009824
申请日：2012-11-16
Applicant: ASML NETHERLANDS BV
Inventor： SPRUIT JOHANNES HENDRIKUS MARIA , BEERENS RUUD , LIESHOUT RICHARD HENRICUS ADRIANUS , DAN CRISTIAN
IPC: G03F7/20
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公开(公告)号：NL2009357A
公开(公告)日：2013-03-28
申请号：NL2009357
申请日：2012-08-24
Applicant: ASML NETHERLANDS BV
Inventor： SPRUIT JOHANNES HENDRIKUS MARIA , BEERENS RUUD
IPC: G03F7/20
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