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公开(公告)号：KR20200135798A
公开(公告)日：2020-12-03
申请号：KR20207028044
申请日：2019-03-15
Applicant: ASML NETHERLANDS BV
Inventor： DRIESSEN THEODORUS WILHELMUS , ERSHOV ALEXANDER IGOREVICH , ROLLINGER BOB , VASCHENKO GEORGIY OLEGOVICH , WINKELS KOEN GERHARDUS , TREES DIETMAR UWE HERBERT
IPC: H05G2/00
Abstract: 조사영역및 액적공급원으로향하는레이저빔을생성하는장치를포함하는 EUV 방사선을생성하는데 사용되는액적형성을제어하기위한장치및 방법. 액적공급원은노즐을나오는유체및 이유체에교란을생성하는전기작동가능요소를갖는서브시스템을포함한다. 액적공급원은액적으로분할되는스트림을생성하며, 이액적들은조사영역을향해진행함에따라더 큰액적으로합체된다. 이프로세스는스트림내의액적이완전히합체되지않은일 지점에서스트림을관찰함으로써제어된다.
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