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公开(公告)号：KR20210007999A
公开(公告)日：2021-01-20
申请号：KR20207033837
申请日：2019-05-13
Applicant: AXCELIS TECH INC
Inventor： COLVIN NEIL , HSIEH TSEH JEN
IPC: H01J37/08 , H01J37/317
Abstract: 이온주입시스템용 터미널시스템은하우징및 하나이상의개구플레이들을가지는추출전극조립체를가지는이온소스를포함한다. 가스박스는상기이온소스에전기적으로연결된다. 가스소스는상기이온소스조립체와실질적으로동일한전위로가스를제공하기위해상기가스박스내에있다. 블리드가스도관은상기이온소스의상기하우징내부영역및 적어도하나의개구플레이트들의상류에가스를도입한다. 상기블리드가스도관은상기이온소스의마운팅플랜지에있는홀과같이상기이온소스조립체의본체를통해연장되는하나이상의피드-스루들을가진다. 상기마운팅플랜지는채널을가지는관형부분일수 있다. 상기블리드가스도관은가스분배링으로정의된가스분배장치를추가포함할수 있다. 상기가스분배링은일반적으로상기마운팅플랜지의상기관형부분을둘러쌀수 있다.
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