公开(公告)号：KR20200138265A

公开(公告)日：2020-12-09

申请号：KR20207029010

申请日：2019-04-01

Applicant: AXCELIS TECH INC

Inventor： BAGGETT JOHN ,  REECE RONALD ,  KOPALIDIS PETROS

IPC: G01K13/00 ,  H01J37/20 ,  H01J37/317 ,  H01L21/67 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687

Abstract: 열척은클램핑표면상에공작물을선택적으로유지한다. 상기열 척은상기클램핑표면과공작물을선택적으로가열하기위한하나이상의히터들을포함한다. 열모니터링장치는공작물이상기클램핑표면상에상주할때 상기공작물의표면의온도를판단하여, 하나이상의측정된온도들을정의한다. 제어기는상기하나이상의측정된온도들에기초하여상기하나이상의히터들에선택적으로에너지를공급한다. 상기열 모니터링장치는상기공작물의상기표면과선택적으로접촉하는열전대또는 RTD 중하나일수 있고, 상기표면과접촉하지않는방사율센서또는파이로미터일수 있다. 상기열 척은상기공작물로이온들을주입하도록구성된이온주입시스템의일부일수 있다. 상기제어기는상기측정된온도들에따라상기히터들을제어하도록추가구성될수 있다.