公开(公告)号：WO2013068633A3

公开(公告)日：2013-05-16

申请号：PCT/ES2012/070788

申请日：2012-11-12

Applicant: BAOLAB MICROSYSTEMS SL

Inventor： MONTANYÀ SILVESTRE, Josep ,  LLAMAS MOROTE, Marc Antonio

IPC: B81C1/00 ,  H03H3/007

Abstract: Se proporcionan sistemas y métodos para fabricar un chip que comprende un filtro de radiofrecuencia basado en MEMS y dispuesto dentro de un circuito integrado. En un aspecto, los sistemas y métodos proporcionan un chip que incluye elementos electrónicos formados sobre un sustrato de material semiconductor. El chip incluye adicíonaimente una pila de capas de interconexión que incluye capas de material conductor separadas por capas de material dieléctrico. Se forma un filtro de radiofrecuencia dentro de la pila de capas de interconexión mediante la aplicación de HF gaseoso a las capas de interconexión. El filtro de radiofrecuencia incluye una pluralidad de elementos resonadores desacopiados mecánicamente.