公开(公告)号：DE3220902A1

公开(公告)日：1983-12-08

申请号：DE3220902

申请日：1982-06-03

Applicant: BASF AG

Inventor： BUERGER ARNULF DR ,  SCHARFF KARL-HEINZ ,  GEIGER KURT ,  SCHNEE GUENTHER ,  PIEPER HARTWIG

IPC: G03F7/26 ,  G03F7/30 ,  G03D5/00

公开(公告)号：DE3380419D1

公开(公告)日：1989-09-21

申请号：DE3380419

申请日：1983-05-24

Applicant: BASF AG

Inventor： HECKE PAUL ,  BUERGER ARNULF DR ,  WERTHER HEINZ-ULRICH DR

IPC: G03F7/26 ,  G03F7/30

公开(公告)号：AT33190T

公开(公告)日：1988-04-15

申请号：AT83105072

申请日：1983-05-21

Applicant: BASF AG

Inventor： BUERGER ARNULF DR ,  SCHARFF KARL-HEINZ ,  GEIGER KURT ,  SCHNEE GUENTHER ,  PIEPER HARTWIG

IPC: G03F7/26 ,  G03F7/30

公开(公告)号：DE3221257A1

公开(公告)日：1983-12-08

申请号：DE3221257

申请日：1982-06-04

Applicant: BASF AG

Inventor： HECKE PAUL ,  BUERGER ARNULF DR ,  WERTHER HEINZ-ULRICH DR

IPC: G03F7/26 ,  G03F7/30 ,  G03D3/08

公开(公告)号：AT45636T

公开(公告)日：1989-09-15

申请号：AT83105113

申请日：1983-05-24

Applicant: BASF AG

Inventor： HECKE PAUL ,  BUERGER ARNULF DR ,  WERTHER HEINZ-ULRICH DR

IPC: G03F7/26 ,  G03F7/30

公开(公告)号：DE3376089D1

公开(公告)日：1988-04-28

申请号：DE3376089

申请日：1983-05-21

Applicant: BASF AG

Inventor： BUERGER ARNULF DR ,  SCHARFF KARL-HEINZ ,  GEIGER KURT ,  SCHNEE GUENTHER ,  PIEPER HARTWIG

IPC: G03F7/26 ,  G03F7/30