公开(公告)号：ES2541222T3

公开(公告)日：2015-07-16

申请号：ES11176892

申请日：2011-08-09

Applicant: BASF SE

Inventor： FERSTL BERTHOLD ,  BERTHOLD FERSTL

IPC: C11D11/00 ,  C11D3/00 ,  C11D7/06 ,  C11D7/26 ,  C11D7/32 ,  C11D7/34 ,  C11D7/36 ,  H01L21/02 ,  H01L31/18

Abstract: Una composición alcalina acuosa que comprende: (A) al menos un hidróxido amónico cuaternario; (B) al menos un componente seleccionado del grupo que consiste en: (b1) ácidos sulfónicos hidrosolubles y sus sales hidrosolubles de la fórmula general I: (R1-SO3 -)nXn+ (I), (b2) ácidos fosfónicos hidrosolubles y sus sales hidrosolubles de la fórmula general II: R-PO3 2- (Xn+)3-n (II); (b3) ésteres de ácido sulfúrico hidrosolubles y sus sales hidrosolubles de la fórmula general III: (RO-SO3 -)n(n+ (III), (b4) ésteres de ácido fosfórico hidrosolubles y sus sales hidrosolubles de la fórmula general (IV): RO-PO3 2- (Xn+)3-n (IV), y (b5) ésteres de ácido fosfórico hidrosolubles y sus sales hidrosolubles de la fórmula general (V): [(RO)2PO2 -]nXn+ (V); en las que el índice n >= 1 o 2; la variable X es seleccionada del grupo que consiste en hidrógeno, amonio, metal alcalino y metal alcalino térreo; la variable R1 es seleccionada del grupo que consiste en restos alifáticos que tienen de 2 a 5 átomos de carbono y al menos un doble enlace olefínicamente insaturado, y restos cicloalifáticos que tienen de 4 a 6 átomos de carbono y al menos un doble enlace insaturado olefínicamente; y la variable R es seleccionada del grupo que consiste en restos alifáticos que tienen de 2 a 5 átomos de carbono y al menos un doble enlace olefínicamente insaturado, restos cicloalifáticos que tienen de 4 a 6 átomos de carbono y al menos un doble enlace olefínicamente insaturado, y restos de alquilarilo, en el que los restos arilo son seleccionados de benceno y naftaleno, los restos alquilo son seleccionados de metileno, etano-diílo y propano-diílo, y el átomo de fósforo en la fórmula general II está unido directamente y el átomo de azufre en la fórmula general III y el átomo de fósforo en las fórmulas generales IV y V están cada uno unidos a través de un átomo de oxígeno a un átomo de carbono alifático; y (C) un sistema tampón, en el que al menos un componente distinto de agua es volátil.