КОМПОЗИЦИЯ ДЛЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ МЕТАЛЛА, СОДЕРЖАЩАЯ ВЫРАВНИВАЮЩИЙ АГЕНТ

    公开(公告)号:RU2585184C2

    公开(公告)日:2016-05-27

    申请号:RU2012126604

    申请日:2010-11-22

    Applicant: BASF SE

    Abstract: Изобретениеотноситсяк композициямдляэлектролитическогоосаждениямединаполупроводниковуюподложку. Композициясодержитисточникметаллическихионови поменьшеймереоднудобавку, содержащуюпоменьшеймереодинполиаминоамидформулы I илипроизводныеполиаминоамидаформулы I, получаемыепутемполногоиличастичногопротонирования, N-кватернизацииилиацилирования. Изобретениеобеспечиваетпосуществуплоскийслоймедии заполнениеэлементовповерхностинанометровогои микрометровогомасштабапосуществубезобразованиядефектов, вчастностипустотприприменениис электролитическойваннойдлянанесенияметаллическогопокрытия, вчастностис электролитическойваннойдлянанесениямедногопокрытия. 3 н. и 12 з.п. ф-лы, 8 ил., 1 табл., 14 пр.

Patent Agency Ranking