-
公开(公告)号:RU2603675C2
公开(公告)日:2016-11-27
申请号:RU2012157535
申请日:2011-05-31
Applicant: BASF SE
Inventor: ZIMER MIKHAEL , REGER-GEPFERT KORNELIA , MAJER NIKOL , RETER ROMAN BENEDIKT , ARNOLD MARKO , EMNET SHARLOTTE , MAJER DITER , FLJUGEL ALEKSANDER
Abstract: Изобретениеотноситсяк композициямдляэлектролитическогоосаждениямединаподложкахв электронныхустройствах. Композициясодержитисточникионовмедии поменьшеймереоднудобавкулинейногоилиразветвленногополимерногосоединенияимидазолияформулы (L1), где R, R, R- водород, R- двухвалентныйзамещенныйилинезамещенныйС-Салкандиил, n - целоечислоот 2 до 6000. Использованиеуказаннойдобавки (L1) вэлектролитическихваннахдляосаждениямедиобеспечиваетповышеннуюэффективностьвыравниванияслоямедис достижениемпосуществуплоскогослоямедии заполненияэлементовповерхностинанометровогои микрометровогомасштабабезформированиядефектов, такихкакпустоты. 3 н. и 11 з.п. ф-лы, 16 ил., 10 пр.