ВОДНЫЕ ЩЕЛОЧНЫЕ ОЧИЩАЮЩИЕ КОМПОЗИЦИИ И СПОСОБЫ ИХ ПРИМЕНЕНИЯ

    公开(公告)号:RU2578718C2

    公开(公告)日:2016-03-27

    申请号:RU2013106936

    申请日:2011-07-12

    Applicant: BASF SE

    Abstract: Настоящееизобретениеотноситсяк воднойщелочнойочищающейкомпозиции, свободнойоторганическихрастворителейи силикатов, свободныхотионовметаллов, причемуказаннаякомпозициясодержит: (A) от 0,1 до 20 мас. % L-цистеина, (B) от 0,1 до 20 мас. % поменьшеймереодногогидроксидчетвертичногоаммония, (C) от 0,05 до 15 мас. % поменьшеймереодногохелатирующегои/илиингибирующегокоррозиюагента, выбранногоизгруппы, состоящейизалифатическихи циклоалифатическихаминов, имеющихпоменьшеймередвепервичныеаминогруппы, (D) от 0,001 до 5 мас. % поменьшеймереодногонеионногоповерхностно-активноговещества, выбранногоизгруппыацетиленовыхспиртов, алкилоксилированныхацетиленовыхспиртови алкилоксилированныхсложныхмоноэфировсорбитаи одноосновнойкарбоновойкислоты. Такженастоящееизобретениеотноситсяк способуобработкиподложеки кприменениюводнойщелочнойочищающейкомпозициидляобработкиподложек. Техническимрезультатомнастоящегоизобретенияявляетсясозданиекомпозиции, котораянаиболееэффективноудаляетвсевидыостаткови загрязнений, образованныхв ходеподготовкиповерхностиподложки, осаждения, нанесениягальваническогопокрытия, травленияи химико-механическойполировки. 3 н. 9 з.п. ф-лы, 8 пр., 1 табл.

    НЕЭЛЕКТРОЛИТИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ БАРЬЕРНЫХ СЛОЕВ

    公开(公告)号:RU2492279C2

    公开(公告)日:2013-09-10

    申请号:RU2010134880

    申请日:2009-01-20

    Applicant: BASF SE

    Inventor: MELLIS RAJMUND

    Abstract: Изобретениеотноситсяк областихимическогонанесенияпокрытийнаметаллическиеповерхности. Раствордляосаждениябарьерныхслоевнаметаллическиеповерхностисодержитсоединениеникеляи соединениемолибдена, покрайнеймереодинпервыйвосстановитель, выбираемыйизвторичныхи третичныхциклическихаминоборанов, покрайнеймереодинвторойвосстановитель, вчастностифосфиновуюкислотуилиеесоль, ипокрайнеймереодинкомплексообразователь, приэтомрастворимеетзначениерНот 8,5 до 12. Способполучениябарьерныхслоевнеэлектролитическимосаждениемнаметаллическиеповерхностиполупроводниковыхсубстратоввключает: а) получениераствора, содержащегосоединениеникеляи соединениемолибдена, первыйвосстановитель, выбираемыйизвторичныхи третичныхциклическихаминоборанов, ивторойвосстановитель, вчастностифосфиновуюкислотуилиеесоль, б) установлениев растворезначениярНот 8,5 до 12, в) установлениетемпературыраствораот 50°Сдо 85°С, г) контактированиеметаллическихповерхностейс растворомпритемпературеот 50°Сдо 85°С, приводящеек осаждениюбарьерногослоянаполупроводниковомсубстрате. Техническийрезультат: снижениерабочейтемпературырастворабезактивациипалладием. 2 н. и 8 з.п. ф-лы, 2 табл., 4 пр.

Patent Agency Ranking