公开(公告)号：RU2578718C2

公开(公告)日：2016-03-27

申请号：RU2013106936

申请日：2011-07-12

Applicant: BASF SE

Inventor： MELLIS RAJMUND ,  KLIPP ANDREAS

IPC: C11D3/34 ,  C11D7/32 ,  C11D7/34 ,  H01L21/02

Abstract: Настоящееизобретениеотноситсяк воднойщелочнойочищающейкомпозиции, свободнойоторганическихрастворителейи силикатов, свободныхотионовметаллов, причемуказаннаякомпозициясодержит: (A) от 0,1 до 20 мас. % L-цистеина, (B) от 0,1 до 20 мас. % поменьшеймереодногогидроксидчетвертичногоаммония, (C) от 0,05 до 15 мас. % поменьшеймереодногохелатирующегои/илиингибирующегокоррозиюагента, выбранногоизгруппы, состоящейизалифатическихи циклоалифатическихаминов, имеющихпоменьшеймередвепервичныеаминогруппы, (D) от 0,001 до 5 мас. % поменьшеймереодногонеионногоповерхностно-активноговещества, выбранногоизгруппыацетиленовыхспиртов, алкилоксилированныхацетиленовыхспиртови алкилоксилированныхсложныхмоноэфировсорбитаи одноосновнойкарбоновойкислоты. Такженастоящееизобретениеотноситсяк способуобработкиподложеки кприменениюводнойщелочнойочищающейкомпозициидляобработкиподложек. Техническимрезультатомнастоящегоизобретенияявляетсясозданиекомпозиции, котораянаиболееэффективноудаляетвсевидыостаткови загрязнений, образованныхв ходеподготовкиповерхностиподложки, осаждения, нанесениягальваническогопокрытия, травленияи химико-механическойполировки. 3 н. 9 з.п. ф-лы, 8 пр., 1 табл.

公开(公告)号：RU2492279C2

公开(公告)日：2013-09-10

申请号：RU2010134880

申请日：2009-01-20

Applicant: BASF SE

Inventor： MELLIS RAJMUND

IPC: C23C18/50

Abstract: Изобретениеотноситсяк областихимическогонанесенияпокрытийнаметаллическиеповерхности. Раствордляосаждениябарьерныхслоевнаметаллическиеповерхностисодержитсоединениеникеляи соединениемолибдена, покрайнеймереодинпервыйвосстановитель, выбираемыйизвторичныхи третичныхциклическихаминоборанов, покрайнеймереодинвторойвосстановитель, вчастностифосфиновуюкислотуилиеесоль, ипокрайнеймереодинкомплексообразователь, приэтомрастворимеетзначениерНот 8,5 до 12. Способполучениябарьерныхслоевнеэлектролитическимосаждениемнаметаллическиеповерхностиполупроводниковыхсубстратоввключает: а) получениераствора, содержащегосоединениеникеляи соединениемолибдена, первыйвосстановитель, выбираемыйизвторичныхи третичныхциклическихаминоборанов, ивторойвосстановитель, вчастностифосфиновуюкислотуилиеесоль, б) установлениев растворезначениярНот 8,5 до 12, в) установлениетемпературыраствораот 50°Сдо 85°С, г) контактированиеметаллическихповерхностейс растворомпритемпературеот 50°Сдо 85°С, приводящеек осаждениюбарьерногослоянаполупроводниковомсубстрате. Техническийрезультат: снижениерабочейтемпературырастворабезактивациипалладием. 2 н. и 8 з.п. ф-лы, 2 табл., 4 пр.