AQUEOUS POLISHING COMPOSITION AND PROCESS FOR CHEMICALLY MECHANICALLY POLISHING SUBSTRATES HAVING PATTERNED OR UNPATTERNED LOW-K DIELECTRIC LAYERS
    1.
    发明申请
    AQUEOUS POLISHING COMPOSITION AND PROCESS FOR CHEMICALLY MECHANICALLY POLISHING SUBSTRATES HAVING PATTERNED OR UNPATTERNED LOW-K DIELECTRIC LAYERS 审中-公开
    水性抛光组合物和具有图形或未加工的低K介电层的化学机械抛光底材的工艺

    公开(公告)号:WO2012046179A1

    公开(公告)日:2012-04-12

    申请号:PCT/IB2011/054344

    申请日:2011-10-04

    Abstract: An aqueous polishing composition comprising (A) abrasive particles and (B) an amphiphilic nonionic surfactant selected from the group consisting of water-soluble or water-dispersible surfactants having (b1) hydrophobic groups selected from the group consisting of branched alkyl groups having 10 to 18 carbon atoms; and (b2) hydrophilic groups selected from the group consisting of polyoxyalkylene groups comprising (b21 ) oxyethylene monomer units and (b22) substituted oxyalkylene monomer units wherein the substituents are selected from the group consisting of alkyl, cycloalkyl, or aryl, alkyl-cycloalkyl, alkyl-aryl, cycloalkyl-aryl and alkyl-cycloalkyl-aryl groups, the said polyoxyalkylene group containing the monomer units (b21 ) and (b22) in random, alternating, gradient and/or blocklike distribution; a CMP process for substrates having patterned or unpatterned low-k or ultra-low-k dielectric layers making use of the said aqueous polishing composition; and the use of the said aqueous polishing composition for manufacturing electrical, mechanical and optical devices.

    Abstract translation: 一种水性抛光组合物,其包含(A)研磨颗粒和(B)选自水溶性或水分散性表面活性剂的两亲性非离子表面活性剂,所述水性或水分散性表面活性剂具有(b1)疏水基团,所述支链烷基选自具有10〜 18个碳原子; 和(b2)选自包含(b21)氧化乙烯单体单元和(b22)取代的氧化烯单体单元的聚氧化烯基的亲水基团,其中取代基选自烷基,环烷基或芳基,烷基 - 环烷基, 烷基 - 芳基,环烷基 - 芳基和烷基 - 环烷基 - 芳基,所述含有单体单元(b21)和(b22)的聚氧化烯基以随机,交替,梯度和/或嵌段分布形式存在; 用于使用所述水性抛光组合物的具有图案化或未图案化的低k或超低k电介质层的衬底的CMP工艺; 以及使用所述水性抛光组合物制造电气,机械和光学装置。

    ANTIOXIDANT MIXTURE FOR LOW VISCOUS POLYALKYLENE GLYCOL BASESTOCK

    公开(公告)号:WO2020109020A1

    公开(公告)日:2020-06-04

    申请号:PCT/EP2019/081358

    申请日:2019-11-14

    Applicant: BASF SE

    Abstract: The invention relates to a lubricant comprising a polyalkylene glycol basestock, an aromatic amine of the formula (I) as defined hereinafter, and a thioether of the formula (II) as defined hereinafter. The invention further relates to a method for preparing the lubricant comprising the step of contacting the polyalkylene glycol basestock, the aromatic amine of the formula (I), and the thioether of the formula (II); and to a method for reducing the oxidative degradation of the lubricant comprising the step of contacting the polyalkylene glycol basestock, the aromatic amine of the formula (I), and the thioether of the formula (II).

    VERZWEIGTE POLYESTER MIT SULFONATGRUPPEN
    6.
    发明申请
    VERZWEIGTE POLYESTER MIT SULFONATGRUPPEN 审中-公开
    支化聚酯与磺酸

    公开(公告)号:WO2012171849A1

    公开(公告)日:2012-12-20

    申请号:PCT/EP2012/060848

    申请日:2012-06-08

    Abstract: Verzweigte Polyester mit Sulfonatgruppen erhältlich durch die Umsetzung der Komponenten A, B, optional C und optional D zu verzweigten Polyestern, wobei die Komponente A gewählt wird aus der Gruppe der α,β-olefinisch ungesättigten Dicarbonsäuren, und die Komponente B gewählt wird aus der Gruppe der tri- oder höherfunktionellen Alkohole, die optionale Komponente C gewählt wird aus der Gruppe der difunktionellen Alkohole oder der difunktionellen Carbonsäuren ohne α,β-olefinisch ungesättigte Bindungen, die optionale Komponente D gewählt wird aus Fettsäuren oder Fettalkoholen, und der anschließenden Umsetzung der erhaltenen verzweigten Polyester mit Hydrogensulfit, wobei die molare Menge an Hydrogensulfit höchstens 95 Mol-%, bezogen auf die Menge an α,β-olefinisch ungesättigter Dicarbonsäure beträgt.

    Abstract translation: 具有由组分A的反应获得磺酸盐基团支链的聚酯,B,任选地C和任选的d到支化的聚酯,其特征在于,从所述组的选定的组件A,SS-烯属不饱和二羧酸,和组分B选自 的三 - 或更高官能的醇,任选的组分C选自二官能醇或双官能羧酸的选择,没有一个,SS烯属不饱和键,任选的组分D选自脂肪酸或脂肪醇,和得到的支化的随后的反应选择 具有氢,其中亚硫酸氢盐的摩尔量为至多95摩尔%,基于的量,SS-烯属不饱和二羧酸的聚酯。

    TENSIDGEMISCH ENTHALTEND VERZWEIGTE KURZKETTIGE SOWIE VERZWEIGTE LANGKETTIGE KOMPONENTEN
    8.
    发明申请
    TENSIDGEMISCH ENTHALTEND VERZWEIGTE KURZKETTIGE SOWIE VERZWEIGTE LANGKETTIGE KOMPONENTEN 审中-公开
    表面活性剂混合物含有支链和短链支化的长链组分

    公开(公告)号:WO2010070088A1

    公开(公告)日:2010-06-24

    申请号:PCT/EP2009/067501

    申请日:2009-12-18

    CPC classification number: B01F17/0092 C11D1/72 C11D1/8255

    Abstract: Die vorliegende Zusammenfassung betrifft ein Tensidgemisch enthaltend (A) eine kurzkettige Komponente enthaltend das Alkoxylierungsprodukt von Alkanolen, wobei die Alkanole 8 bis 12 Kohlenstoffatome aufweisen und die mittlere Anzahl der Alkoxygruppen pro Alkanolgruppe im Alkoxylierungsprodukt einen Wert von 0,1 bis 30 annimmt, die Alkoxygruppen C 2-10 -Alkoxygruppen darstellen und die Alkanole einen mittleren Verzweigungsgrad von mindestens 1 aufweisen; und (B) eine langkettige Komponente enthaltend das Alkoxylierungsprodukt von Alkanolen, wobei die Alkanole 15 bis 19 Kohlenstoffatome aufweisen und die mittlere Anzahl der Alkoxygruppen pro Alkanolgruppe im Alkoxylierungsprodukt einen Wert von 0,1 bis 30 annimmt, die Alkoxygruppen C 2-10 -Alkoxygruppen darstellen und die Alkanole einen mittleren Verzweigungsgrad von mindestens 2,5 aufweisen; beziehungsweise deren Phosphat-, Sulfatester sowie Ethercarboxylate. Die vorliegende Erfindung betrifft weiterhin Formulierungen solche Tensidgemische enthaltend, Verfahren zur Herstellung der Tensidgemische sowie deren Verwendung.

    Abstract translation: 本发明内容涉及一种表面活性剂混合物,其包含(A)包含链烷醇,其中所述链烷醇具有8-12个碳原子和每链烷醇基的烷氧基中的烷氧基化产物的平均数量的烷氧基化产物的短链组件假定的值从0.1至30,烷氧基C2 -10烷氧基代表基团和所述链烷醇具有至少为1的平均支化度; 和(B),其包括链烷醇,其中所述链烷醇具有15至19个碳原子和每链烷醇基的烷氧基中的烷氧基化产物的平均数量的烷氧基化产物呈现长链组分,0.1〜30的值,其表示烷氧基C 2-10烷氧基和 所述链烷醇具有至少为2.5的平均支化度; 或它的磷酸盐,硫酸盐酯和醚羧酸盐。 本发明还涉及含有这些表面活性剂的混合物的制剂,对于表面活性剂的混合物和它们的使用的制备方法。

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