公开(公告)号：DE3788440T2

公开(公告)日：1994-05-11

申请号：DE3788440

申请日：1987-02-04

Applicant: BREWER SCIENCE INC

Inventor： HUNNINGHAKE JEFFREY ,  BREWER TERRY LOWELL ,  LATHAM WILLIAM JOSEPH

IPC: G03F1/00 ,  C08G73/06 ,  C09D5/00 ,  C09D5/32 ,  C09D179/08 ,  G02F1/1335 ,  G03F1/08 ,  G03F1/10 ,  G03F7/09 ,  G03F9/00 ,  H01L21/027 ,  G03F7/00 ,  G02B5/22 ,  G02F1/13

公开(公告)号：DE3788440D1

公开(公告)日：1994-01-27

申请号：DE3788440

申请日：1987-02-04

Applicant: BREWER SCIENCE INC

Inventor： HUNNINGHAKE JEFFREY ,  BREWER TERRY LOWELL ,  LATHAM WILLIAM JOSEPH

IPC: G03F1/00 ,  C08G73/06 ,  C09D5/00 ,  C09D5/32 ,  C09D179/08 ,  G02F1/1335 ,  G03F1/08 ,  G03F1/10 ,  G03F7/09 ,  G03F9/00 ,  H01L21/027 ,  G03F7/00 ,  G02B5/22 ,  G02F1/13

公开(公告)号：AT98789T

公开(公告)日：1994-01-15

申请号：AT87301002

申请日：1987-02-04

Applicant: BREWER SCIENCE INC

Inventor： HUNNINGHAKE JEFFREY ,  BREWER TERRY LOWELL ,  LATHAM WILLIAM JOSEPH

IPC: G03F9/00 ,  G03F7/00 ,  G02B5/22 ,  G02F1/13 ,  G03F1/00