公开(公告)号：GB2151045A

公开(公告)日：1985-07-10

申请号：GB8428609

申请日：1984-11-13

Applicant: CANON KK

Inventor： YAMAMURA MITSUGU ,  YOMODA MINORU

IPC: G03F7/20 ,  G03F7/207 ,  G03F9/00 ,  G05D3/14

公开(公告)号：GB2153109A

公开(公告)日：1985-08-14

申请号：GB8430806

申请日：1984-12-06

Applicant: CANON KK

Inventor： YOMODA MINORU ,  YAMAMURA MITSUGU

IPC: G02B7/00 ,  G03F7/20 ,  G03F7/207 ,  G03F9/00

公开(公告)号：DE3441298A1

公开(公告)日：1985-05-23

申请号：DE3441298

申请日：1984-11-12

Applicant: CANON KK

Inventor： YAMAMURA MITSUGU ,  YOMODA MINORU

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30 ,  G03B27/52 ,  H01L21/308 ,  H01L21/68

公开(公告)号：GB2153109B

公开(公告)日：1988-03-16

申请号：GB8430806

申请日：1984-12-06

Applicant: CANON KK

Inventor： YOMODA MINORU ,  YAMAMURA MITSUGU

IPC: G02B7/00 ,  G03F7/20 ,  G03F7/207 ,  G03F9/00

公开(公告)号：DE3441621A1

公开(公告)日：1985-05-23

申请号：DE3441621

申请日：1984-11-14

Applicant: CANON KK

Inventor： YAMAMURA MITSUGU ,  YOMODA MINORU

IPC: G03F7/20 ,  G03F7/207 ,  G03F9/00 ,  G03B27/52 ,  H01L21/68

公开(公告)号：GB2151045B

公开(公告)日：1987-01-21

申请号：GB8428609

申请日：1984-11-13

Applicant: CANON KK

Inventor： YAMAMURA MITSUGU ,  YOMODA MINORU

IPC: G03F7/20 ,  G03F7/207 ,  G03F9/00 ,  G05D3/14

公开(公告)号：DE3444569A1

公开(公告)日：1985-09-26

申请号：DE3444569

申请日：1984-12-06

Applicant: CANON KK

Inventor： YOMODA MINORU ,  YAMAMURA MITSUGU

IPC: G02B7/00 ,  G03F7/20 ,  G03F7/207 ,  G03F9/00 ,  G03B27/53 ,  H01L21/68