성형 장치, 결정 방법 및 물품 제조 방법

    公开(公告)号:KR20200124620A

    公开(公告)日:2020-11-03

    申请号:KR20200049099

    申请日:2020-04-23

    Applicant: CANON KK

    Inventor: YAMASHITA KEIJI

    Abstract: 기판상의조성물과몰드를접촉시킨상태에서상기조성물을경화시킴으로써상기조성물을성형하도록동작가능한성형장치가제공된다. 상기성형장치는, 상기기판상에상기조성물의액적을이산적으로공급하도록구성되는공급부와, 각액적의적하량및 적하위치를나타내는공급패턴에따라서상기공급부를제어하도록구성되는제어부를포함하며, 상기제어부는, 상기공급부에의해상기기판상에공급된인접하는액적사이의최소거리가상기조성물이공급되는영역의최외주변의중앙부보다구석부에서작아지도록, 상기공급패턴을결정한다.

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