ESPEJOS DE SILICIO DE SUSTRATO CON BISAGRAS INFERIORES.

    公开(公告)号:ES2314239T3

    公开(公告)日:2009-03-16

    申请号:ES03756196

    申请日:2003-05-21

    Abstract: Método de realización de un aparato MEMS, que comprende un componente de dispositivo y un componente de soporte, que comprende las etapas de: a) proporcionar un componente (400) de dispositivo que comprende silicio (415) monocristalino; b) crear al menos una bisagra (421, 422) en dicho componente (400) de dispositivo; c) construir un componente (450) de soporte que tiene una cavidad (440); d) adherir dicho componente (400) de dispositivo a dicho componente (450) de soporte, de modo que dicha al menos una bisagra (421, 422) esté dispuesta dentro de dicha cavidad (440); y e) formar en dicho componente (400) de dispositivo un elemento (410) de material base que tiene una superficie (412) de dispositivo y una superficie (411) inferior, por lo que dicha al menos una bisagra (421, 422) está acoplada a dicho elemento (410) de material base y está dispuesta por debajo de dicha superficie (411) inferior, suspendiendo de ese modo dicho elemento (410) de material base de dicho soporte (450).

    2.
    发明专利
    未知

    公开(公告)号:DE60323226D1

    公开(公告)日:2008-10-09

    申请号:DE60323226

    申请日:2003-05-21

    Abstract: This invention provides method and apparatus for fabricating a MEMS apparatus having a bulk element with hinges underneath. The bulk element may comprise single-crystal silicon, fabricated by way of bulk micromachining techniques. The hinges may be made of thin-films, fabricated by way of surface micromachining techniques. A distinct feature of the MEMS apparatus of the present invention is that by disposing the hinges underneath the bulk element, the surface of the bulk element can be maximized and the entire surface becomes usable (e.g., for optical beam manipulation). Such a feature would be highly advantageous in making arrayed MEMS devices, such as an array of MEMS mirrors with a high optical fill factor. Further, by advantageously making use of both bulk and surface micromachining techniques, a MEMS mirror thus produced is equipped with a large and flat mirror along with flexible hinges, hence capable of achieving a substantial rotational range at modest electrostatic drive voltages.

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