公开(公告)号：FR2881272B1

公开(公告)日：2007-08-10

申请号：FR0550232

申请日：2005-01-27

Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

Inventor： FERRANDIS PHILIPPE ,  MOUREY BRUNO ,  ANDRE BERNARD

IPC: H01L21/285 ,  H01L21/336 ,  H01L21/8247 ,  H01L29/788

公开(公告)号：FR2881272A1

公开(公告)日：2006-07-28

申请号：FR0550232

申请日：2005-01-27

Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

Inventor： FERRANDIS PHILIPPE ,  MOUREY BRUNO ,  ANDRE BERNARD

IPC: H01L21/285 ,  H01L21/336 ,  H01L21/8247 ,  H01L29/788

Abstract: L'invention concerne un procédé de réalisation d'un dispositif microélectronique doté d'au moins un composant à grille flottante, comprenant au moins une étape de formation sur un substrat d'au moins une couche diélectrique apte à servir de diélectrique tunnel pour grille flottante, l'étape de formation de la couche diélectrique tunnel comprenant au moins une étape de pulvérisation à l'aide d'un faisceau d'ion ou (IBS).