公开(公告)号：FR3082656A1

公开(公告)日：2019-12-20

申请号：FR1855325

申请日：2018-06-18

Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

Inventor： METRAS HUGHES ,  CLERMIDY FABIEN ,  GITLIN DANIEL ,  LATTARD DIDIER ,  THURIES SEBASTIEN ,  VIVET PASCAL

IPC: H01L21/70 ,  G11C29/00 ,  H01L27/00

Abstract: L'invention concerne un niveau d'un circuit 3D, comprenant : un ou plusieurs circuits macros, chaque circuit macro comprenant une pluralité de cellules macros (202) agencées en une matrice (101), les cellules macros (202) étant séparées entre elles par des espaces ; et des vias d'interconnexion (110) disposés dans les espaces entre les cellules macros (202).