公开(公告)号：FR3119047A1

公开(公告)日：2022-07-22

申请号：FR2100563

申请日：2021-01-21

Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

Inventor： LOURO MÉLANIE ,  CAPLET STÉPHANE

IPC: H01L23/52 ,  H01L21/60

Abstract: L’invention concerne un composant formant au moins connexion mécanique comportant un substrat (32), muni, sur une de ses faces (32a), d’au moins un micro-élément (20a-20e, 20b’, 201-204) de connexion en silicium, s’étendant selon une direction perpendiculaire à ladite face, ayant une paroi latérale dont au moins une partie a une direction faisant un angle non nul avec ladite direction perpendiculaire au substrat. Figure pour l’abrégé : Figure 3A

公开(公告)号：FR3119048A1

公开(公告)日：2022-07-22

申请号：FR2100562

申请日：2021-01-21

Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

Inventor： MAILLIART OLIVIER ,  LOURO MÉLANIE ,  PERAY PATRICK ,  RAPHOZ NATACHA

IPC: H01L23/538 ,  H01L21/768

Abstract: L’invention concerne un composant formant connexion électrique et mécanique et comportant un substrat (32), muni, sur une de ses faces, d’au moins un élément d’interconnexion (20), s’étendant selon une direction perpendiculaire audit substrat (32), ayant une âme non conductrice (22) et un revêtement électriquement conducteur (24). Figure pour l’abrégé : Figure 3.