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    Messtechnik für eine Oberflächenverunreinigung
    2.
    发明专利
    Messtechnik für eine Oberflächenverunreinigung 未知

    公开(公告)号：DE102011086068A1

    公开(公告)日：2012-05-10

    申请号：DE102011086068

    申请日：2011-11-10

    Applicant: CORNING INC

    Inventor： DEWA PAUL G

    IPC: G01N21/64 ,  G01M11/02

    Abstract: Die vorliegende Anmeldung ist gerichtet auf ein Verfahren zum Bestimmen der Beschaffenheit der Reinheit eines optischen Bauelements bevor eine Beschichtung auf der Oberfläche aufgebracht wird. Das Verfahren ist insbesondere für optische Bauteile und Bauelemente anwendbar, die für Verwendungen in den DUV-(tiefen Ultraviolett – deep ultraviolet) und EUV-(extremen Ultraviolett – extreme ultraviolet) Wellenlängenbereichen vorgesehen sind. Die Anmeldung kombiniert ein Reinigungsverfahren mit einer Verunreinigungs-Messtechnik unter Verwendung eines Spektrometers, um ein Verfahren bereitzustellen, das die Beschaffenheit der Reinheit der Bauelementoberfläche durch Messen des Fluoreszenzspektrums der Optik und Vergleichen des gemessenen Werts mit einer Standard- oder Referenz-Optik einer bekannten akzeptablen Reinheit bestimmt. Die Anmeldung ist ferner gerichtet auf eine Optik mit einer ausgewählten Beschichtung drauf, die gemäß dem hierin beschriebenen Verfahren gebildet ist.

    DEVICE FOR LASER PULSE CONDITIONING BY STRETCHING, DELAYING AND MODULATING
    5.
    发明申请
    DEVICE FOR LASER PULSE CONDITIONING BY STRETCHING, DELAYING AND MODULATING 审中-公开
    激光脉冲调制装置，通过拉伸，延迟和调制

    公开(公告)号：WO2009029189A3

    公开(公告)日：2009-07-02

    申请号：PCT/US2008009895

    申请日：2008-08-20

    Applicant: CORNING INC ,  COBB JOSHUA M ,  DEWA PAUL G

    Inventor： COBB JOSHUA M ,  DEWA PAUL G

    IPC: H01S3/00 ,  B23K26/06 ,  G02B27/09 ,  G02B27/10 ,  G02F1/01 ,  G03F7/20 ,  H01S3/106 ,  H01S3/107 ,  H01S3/225

    CPC classification number: G03F7/70583 ,  G02F1/01 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70041 ,  H01S3/005 ,  H01S3/0057 ,  H01S3/0085

    Abstract: A light pulse conditioning.apparatus (30) has first and second curved reflective surfaces (12a, 12b) that share a common focus and a light-redirecting element (16) disposed between the first and second curved reflective surfaces to redirect a portion of an incident light beam (14) toward the second curved reflective surface (12b) as a delayed beam portion. A beam-shifting compensating element (24) is disposed between the first curved reflective surface (12a) and the light-redirecting element (16), for shifting the optical path of the delayed beam portion as it returns toward the light-redirecting element (16). Furthermore, the light conditioning apparatus (30) may have a measurement device (52) using a sensor (54) to detect the energy level of the light beam (14) from the pulset radiation source (38) and providing a signal to a controller (56) for a modulator element (34) of a modulator assembly (32). When the pulse power exceeds a value, the control loop (50) energizes the modulator element (34) to provide some level of attenuation.

    Abstract translation: 光脉冲调节装置（30）具有共享共同焦点的第一和第二弯曲反射表面（12a，12b）和设置在第一和第二弯曲反射表面之间的光重定向元件（16），以重定向一部分 入射光束（14）作为延迟光束部分朝向第二弯曲反射表面（12b）。 光束移动补偿元件（24）设置在第一弯曲反射表面（12a）和光重定向元件（16）之间，用于当延迟光束部分的光路朝向光重定向元件 16）。 此外，光调节装置（30）可以具有使用传感器（54）的测量装置（52），以从脉冲辐射源（38）检测光束（14）的能级，并向控制器提供信号 （56）用于调制器组件（32）的调制器元件（34）。 当脉冲功率超过一个值时，控制回路（50）激励调制器元件（34）以提供一定程度的衰减。

    OPTICAL POWER MODULATION AT HIGH FREQUENCY
    6.
    发明申请
    OPTICAL POWER MODULATION AT HIGH FREQUENCY 审中-公开
    高频光功率调制

    公开(公告)号：WO2008088397A2

    公开(公告)日：2008-07-24

    申请号：PCT/US2007018869

    申请日：2007-08-28

    Applicant: CORNING INC ,  COBB JOSHUA M ,  DEWA PAUL G

    Inventor： COBB JOSHUA M ,  DEWA PAUL G

    IPC: G03B27/00 ,  G03B27/42 ,  G03B27/54

    CPC classification number: G03B27/42 ,  G03F7/70041

    Abstract: An apparatus for providing a pulsed radiation beam has a radiation source providing a pulsed radiation beam at a constant pulse repetition frequency. A beam deflector in the path of the pulsed radiation beam is actuable to redirect the pulsed radiation beam cyclically towards each of a plurality of beam intensity modulators in turn. A beam recombiner combines modulated light from each of the plurality of beam intensity modulators in order to form the modulated pulsed radiation beam at the constant pulse repetition frequency.

    Abstract translation: 用于提供脉冲辐射束的装置具有以恒定脉冲重复频率提供脉冲辐射束的辐射源。 在脉冲辐射束的路径中的光束偏转器可被致动以依次将脉冲辐射束循环地重定向到多个光束强度调制器中的每一个。 光束重组器组合来自多个光束强度调制器中的每一个的调制光，以便以恒定脉冲重复频率形成调制的脉冲辐射束。

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