公开(公告)号：DE102011076458A1

公开(公告)日：2011-12-01

申请号：DE102011076458

申请日：2011-05-25

Applicant: CORNING INC

Inventor： DUNN THOMAS J ,  LEE CHRISTOPHER ,  TRONOLONE MARK J

IPC: G01B9/02

Abstract: Ein Frequenzschiebe-Interferometer wird angeordnet, um ein optisches Profil eines Testobjektes mit einer durchstimmbaren Lichtquelle zu messen. Eine Folge von Interferenzbildern des Testobjektes wird zusammen mit einem Messwert der Strahlfrequenzen erfasst, bei welchen die Interferenzbilder gebildet sind. Eine begrenzte Anzahl von erfassten Interferenzbildern des Testobjektes wird ausgewählt, so dass die überwachten Strahlfrequenzen mit einem vorher festgelegten Strahlfrequenz-Abstandsmuster ungefähr übereinstimmen. Eine weitere Bearbeitung folgt, basierend auf den ausgewählten Interferenzbildern.