公开(公告)号：CN1727863A

公开(公告)日：2006-02-01

申请号：CN200410103107.5

申请日：2004-12-31

Applicant: DE&T株式会社

Inventor： 朴鲁善 ,  李相熏 ,  金铉守

IPC: G01M11/00

Abstract: 一种玻璃衬底检查装置，可自动替换在宏观及微观检查中的玻璃衬底支撑用玻璃棒，减少工序时间，防止污染检查环境，提高检查效率。其包括：平台，由平台支撑部支撑；主工作台支撑部，配置在平台的上面；主工作台，配置在主工作台支撑部上，安放玻璃衬底；升降工作台，根据在上升及下降模式中选择的模式，至少部分在主工作台内部及平台的上部上下移动，当处于上升模式时，与玻璃衬底接触，使玻璃衬底从主工作台上分开及隔离；升降驱动装置，设置在平台的一侧，使升降工作台上下移动；升降工作台支撑部，设置在平台的上表面，在上升模式下，与升降工作台下部的至少一侧接触，支撑升降工作台，而在下降模式下，从升降工作台的下部分开及隔离。

公开(公告)号：CN100422709C

公开(公告)日：2008-10-01

申请号：CN200410103107.5

申请日：2004-12-31

Applicant: DE&T株式会社

Inventor： 朴鲁善 ,  李相熏 ,  金铉守

IPC: G01M11/00

Abstract: 一种玻璃衬底检查装置，可自动替换在宏观及微观检查中的玻璃衬底支撑用玻璃棒，减少工序时间，防止污染检查环境，提高检查效率。其包括：平台，由平台支撑部支撑；主工作台支撑部，配置在平台的上面；主工作台，配置在主工作台支撑部上，安放玻璃衬底；升降工作台，根据在上升及下降模式中选择的模式，至少部分在主工作台内部及平台的上部上下移动，当处于上升模式时，与玻璃衬底接触，使玻璃衬底从主工作台上分开及隔离；升降驱动装置，设置在平台的一侧，使升降工作台上下移动；升降工作台支撑部，设置在平台的上表面，在上升模式下，与升降工作台下部的至少一侧接触，支撑升降工作台，而在下降模式下，从升降工作台的下部分开及隔离。