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公开(公告)号：CN1727863A
公开(公告)日：2006-02-01
申请号：CN200410103107.5
申请日：2004-12-31
Applicant: DE&T株式会社
IPC: G01M11/00
Abstract: 一种玻璃衬底检查装置，可自动替换在宏观及微观检查中的玻璃衬底支撑用玻璃棒，减少工序时间，防止污染检查环境，提高检查效率。其包括：平台，由平台支撑部支撑；主工作台支撑部，配置在平台的上面；主工作台，配置在主工作台支撑部上，安放玻璃衬底；升降工作台，根据在上升及下降模式中选择的模式，至少部分在主工作台内部及平台的上部上下移动，当处于上升模式时，与玻璃衬底接触，使玻璃衬底从主工作台上分开及隔离；升降驱动装置，设置在平台的一侧，使升降工作台上下移动；升降工作台支撑部，设置在平台的上表面，在上升模式下，与升降工作台下部的至少一侧接触，支撑升降工作台，而在下降模式下，从升降工作台的下部分开及隔离。
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公开(公告)号：CN100480686C
公开(公告)日：2009-04-22
申请号：CN200410074286.4
申请日：2004-09-08
Applicant: DE&T株式会社
Abstract: 一种平面显示屏检查装置，用于在平台上校准作为检查对象的不同尺寸的显示屏。所述检查装置包括可在其上放置标准尺寸显示屏的平台，以及分别安装在所述平台的前、后、左、右侧用以沿水平和纵向方向校准所述显示屏的第一和第二校准装置。所述检查装置还包括第四校准装置，其设置在所述平台下方，可上升和下降，并可通过同时对小显示屏的边缘施加压力，沿水平和纵向方向校准具有预定长度和宽度的所述小显示屏，所述小显示屏的长度和宽度之一小于所述标准尺寸显示屏。所述第四校准装置包括在所述小显示屏各边缘处彼此相对并对所述小显示屏边缘施加压力的第四校准部分，以及在装卸所述小显示屏时升降所述第四校准部分的竖直传动部分。
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公开(公告)号：CN100422709C
公开(公告)日：2008-10-01
申请号：CN200410103107.5
申请日：2004-12-31
Applicant: DE&T株式会社
IPC: G01M11/00
Abstract: 一种玻璃衬底检查装置，可自动替换在宏观及微观检查中的玻璃衬底支撑用玻璃棒，减少工序时间，防止污染检查环境，提高检查效率。其包括：平台，由平台支撑部支撑；主工作台支撑部，配置在平台的上面；主工作台，配置在主工作台支撑部上，安放玻璃衬底；升降工作台，根据在上升及下降模式中选择的模式，至少部分在主工作台内部及平台的上部上下移动，当处于上升模式时，与玻璃衬底接触，使玻璃衬底从主工作台上分开及隔离；升降驱动装置，设置在平台的一侧，使升降工作台上下移动；升降工作台支撑部，设置在平台的上表面，在上升模式下，与升降工作台下部的至少一侧接触，支撑升降工作台，而在下降模式下，从升降工作台的下部分开及隔离。
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公开(公告)号：CN1690695A
公开(公告)日：2005-11-02
申请号：CN200410074286.4
申请日：2004-09-08
Applicant: DE&T株式会社
Abstract: 一种平面显示屏检查装置，用于在平台上校准作为检查对象的不同尺寸的显示屏。所述检查装置包括可在其上放置标准尺寸显示屏的平台，以及分别安装在所述平台的前、后、左、右侧用以沿水平和纵向方向校准所述显示屏的第一和第二校准装置。所述检查装置还包括第四校准装置，其设置在所述平台下方，可上升和下降，并可通过同时对小显示屏的边缘施加压力，沿水平和纵向方向校准具有预定长度和宽度的所述小显示屏，所述小显示屏的长度和宽度之一小于所述标准尺寸显示屏。所述第四校准装置包括在所述小显示屏各边缘处彼此相对并对所述小显示屏边缘施加压力的第四校准部分，以及在装卸所述小显示屏时升降所述第四校准部分的竖直传动部分。
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