公开(公告)号：SG11201501002QA

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：SG11201501002Q

申请日：2013-08-07

Applicant: ENTEGRIS INC

Inventor： NAITO DONN K ,  KRELL ANDY ,  MCFERON MITCHELL W ,  JACKSON STEVEN ,  ROBISON JOEL

IPC: H01L21/02

公开(公告)号：SG10201700892QA

公开(公告)日：2017-04-27

申请号：SG10201700892Q

申请日：2013-08-07

Applicant: ENTEGRIS INC

Inventor： NAITO DONN K ,  KRELL ANDY ,  MCFERON MITCHELL W ,  JACKSON STEVEN ,  ROBISON JOEL

公开(公告)号：EP2883238A4

公开(公告)日：2016-03-16

申请号：EP13828292

申请日：2013-08-07

Applicant: ENTEGRIS INC

Inventor： NAITO DONN K ,  KRELL ANDY ,  MCFERON MITCHELL W ,  JACKSON STEVEN ,  ROBISON JOEL

IPC: H01L21/02 ,  B01J4/00 ,  B01J19/02 ,  B65D25/14 ,  B65D25/38 ,  B65D43/02 ,  B65D85/00 ,  H01L21/67

CPC classification number: B65D25/14 ,  B01J4/00 ,  B01J19/02 ,  B01J2219/0245 ,  B65D25/38 ,  B65D43/02 ,  B65D85/70 ,  H01L21/67023