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公开(公告)号：DE102016124057A1
公开(公告)日：2018-06-14
申请号：DE102016124057
申请日：2016-12-12
Applicant: EPCOS AG
Inventor： EDER FLORIAN , PIHALE SVEN , ÜBLER MATTHIAS , PAHL WOLFGANG
Abstract: Es wird ein MEMS-Mikrofon mit guten akustischen Eigenschaften und verringerter Ausfallwahrscheinlichkeit durch defekte elektrische Verbindungen angegeben. Dazu hat das Mikrofon einen Kanal, der eine Schallöffnung mit einem MEMS-Chip verbindet. Der Kanal hat ein heterogenes Material aus zwei unterschiedlichen Komponenten, die unterschiedliche thermische Eigenschaften aufweisen.
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