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    MIKROMECHANISCHES MESSELEMENT
    1.
    发明申请
    MIKROMECHANISCHES MESSELEMENT 审中-公开
    的微观力学测量元件

    公开(公告)号：WO2013131711A1

    公开(公告)日：2013-09-12

    申请号：PCT/EP2013/052548

    申请日：2013-02-08

    Applicant: EPCOS AG

    Inventor： OSTRICK, Bernhard ,  SCHIFFER, Michael

    IPC: G01L13/02 ,  G01L19/00 ,  G01L19/14

    CPC classification number: G01L9/008 ,  B81B3/0021 ,  G01L9/0054 ,  G01L13/025

    Abstract: Es wird ein mikromechanisches Messelement (1) angegeben, das ein sensitives Element (2) aufweist, welches eine Membran (21) mit einer Unterseite (211) und einer Oberseite (212) umfasst. Das mikromechanische Messelement (1) weist weiterhin eine Kappe (3) auf, die direkt mit dem sensitiven Element (2) verbunden ist. Das sensitive Element (2) und die Kappe (3) bilden eine erste Kammer (4), die eine erste Öffnung (5) aufweist.

    Abstract translation: 提供了一种具有一个敏感元件（2）包括具有底部（211）和一个顶部（212）的膜（21）的微机械传感元件（1）。 微机械传感元件（1）还包括盖（3）直接与敏感元件（2）连接。 敏感元件（2）和盖（3）形成（4），其具有第一开口的第一腔室（5）。

    MIKROMECHANISCHES MESSELEMENT UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES MIKROMECHANISCHEN MESSELEMENTS
    2.
    发明申请
    MIKROMECHANISCHES MESSELEMENT UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES MIKROMECHANISCHEN MESSELEMENTS 审中-公开
    的微观力学测量元件和法生产的微观力学测量元件

    公开(公告)号：WO2013132065A2

    公开(公告)日：2013-09-12

    申请号：PCT/EP2013/054725

    申请日：2013-03-08

    Applicant: EPCOS AG

    Inventor： SCHIFFER, Michael ,  PESCHKA, Andreas ,  ZAPF, Jörg ,  WEIDNER, Karl ,  HEDLER, Harry

    IPC: G01L19/14

    CPC classification number: G01L19/14 ,  B23K1/0008 ,  B23K1/0016 ,  B81B7/007 ,  B81B2207/092 ,  B81B2207/096 ,  G01D11/245 ,  G01L19/147 ,  G01L19/148 ,  G01P1/023 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2924/10155 ,  H01L2924/15151

    Abstract: Es wird ein Mikromechanisches Messelement (1) angegeben, das ein sensitives Element (21) und einen Träger (3) aufweist. Das sensitive Element (21) ist mittels zumindest einer ersten und zumindest einer zweiten Lotverbindung (41, 42) mit dem Träger (3) verbunden, wobei das das sensitive Element (21) über die erste Lotverbindung (41) elektrisch kontaktiert wird. Des Weiteren bildet das sensitive Element (21), der Träger (3) und die zweite Lotverbindung (42) eine erste Kammer (51), die eine erste Öffnung (61) aufweist. Weiterhin wird ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Messelements (1) angegeben.

    Abstract translation: 提供了一种具有一个敏感元件（21）和载体（3）的微机械传感元件（1）。 通过连接到载体（3），其中所述敏感元件（21）由所述第一焊料（41）电接触的至少一个第一和至少一个第二钎焊接合部（41，42）的装置中的敏感元件（21）。 此外，敏感元件（21），所述载体（3）和所述第二焊接接头（42），其限定第一腔室（51）具有第一开口（61）。 此外，被指定用于制造微机械的感应元件（1）的方法。

    MIKROMECHANISCHES MESSELEMENT
    3.
    发明公开
    MIKROMECHANISCHES MESSELEMENT 有权
    心理障碍

    公开(公告)号：EP2823274A1

    公开(公告)日：2015-01-14

    申请号：EP13704075.4

    申请日：2013-02-08

    Applicant: Epcos AG

    Inventor： OSTRICK, Bernhard ,  SCHIFFER, Michael

    IPC: G01L13/02 ,  G01L19/00 ,  G01L19/14

    CPC classification number: G01L9/008 ,  B81B3/0021 ,  G01L9/0054 ,  G01L13/025

    Abstract: The invention relates to a micromechanical measuring element (1), which has a sensitive element (2), which comprises a membrane (21) having a bottom face (211) and a top face (212). Furthermore, the micromechanical measuring element (1) has a cap (3), which is connected directly to the sensitive element (2). The sensitive element (2) and the cap (3) form a first chamber (4), which has a first opening (5).

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